Název: Příprava a studium křemíkových multivrstevnatých superstruktur a-Si:H/SiO2 pro oblast PV
Další názvy: Preparation and study of silicon multilayer superstructures a-Si:H/SiO2 for the PV
Autoři: Kocourek, Lukáš
Vedoucí práce/školitel: Calta, Pavel
Oponent: Vavruňková, Veronika
Datum vydání: 2014
Nakladatel: Západočeská univerzita v Plzni
Typ dokumentu: diplomová práce
URI: http://hdl.handle.net/11025/12389
Klíčová slova: fotovoltaika;tenká vrstva;Si/SiO2;superstruktura;optické a strukturní vlastnosti;depozice;depoziční aparatura;polovodičová technika;FTIR;Ramanova spektroskopie;PECVD;PVD
Klíčová slova v dalším jazyce: photovoltaics;thin film;Si/SiO2;superstructures;optical and structural properties;deposition;deposition equipment;semiconductortechnique;FTIR;Raman spectroscopy;PECVD;PVD.
Abstrakt: Předkládaná diplomová práce "Příprava a studium křemíkových multivrstevnatých superstruktur a-Si:H/SiO2 pro PV" se zabývá technikami přípravy tenkých vrstev (PVD, CVD, PECVD), metodami jejich identifikace (optickou a strukturní analýzou vrstev) pomocí Ramanovy spektroskopie, FTIR, XRD, UV-Vis spektrofotometrie a spektroskopické elipsometrie. V praktické části je popsána příprava substrátů a multivrstevnatých vzorků, jejich žíhání a následná analýza (z výše zmíněných metod). K této činnosti bylo použito vybavení na pracovišti NTC ZČU v Plzni.
Abstrakt v dalším jazyce: This diploma thesis "Preparation and study of silicon multilayer superstructures a-Si:H/SiO2 for PV" deals with the techniques of thin films (PVD, CVD, PECVD), methods of their identification (optical and structural analysis) using Raman spectroscopy, FTIR, XRD, UV-Vis spectrophotometry and spectroscopic ellipsometry. The practical part of this work describes the preparation of substrates and multilayered samples, subsequent their annealing and analysis (of the above methods). For this research, there were used facilities at NTC of University of West Bohemia in Pilsen.
Práva: Plný text práce je přístupný bez omezení.
Vyskytuje se v kolekcích:Diplomové práce / Theses (KET)

Soubory připojené k záznamu:
Soubor Popis VelikostFormát 
DP_Kocourek_Lukas.pdfPlný text práce11,94 MBAdobe PDFZobrazit/otevřít
058631_vedouci.pdfPosudek vedoucího práce382,76 kBAdobe PDFZobrazit/otevřít
058631_oponent.pdfPosudek oponenta práce381,54 kBAdobe PDFZobrazit/otevřít
058631_hodnoceni.pdfPrůběh obhajoby práce207,19 kBAdobe PDFZobrazit/otevřít


Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam: http://hdl.handle.net/11025/12389

Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.