Název: | Příprava a studium křemíkových multivrstevnatých superstruktur a-Si:H/SiO2 pro oblast PV |
Další názvy: | Preparation and study of silicon multilayer superstructures a-Si:H/SiO2 for the PV |
Autoři: | Kocourek, Lukáš |
Vedoucí práce/školitel: | Calta, Pavel |
Oponent: | Vavruňková, Veronika |
Datum vydání: | 2014 |
Nakladatel: | Západočeská univerzita v Plzni |
Typ dokumentu: | diplomová práce |
URI: | http://hdl.handle.net/11025/12389 |
Klíčová slova: | fotovoltaika;tenká vrstva;Si/SiO2;superstruktura;optické a strukturní vlastnosti;depozice;depoziční aparatura;polovodičová technika;FTIR;Ramanova spektroskopie;PECVD;PVD |
Klíčová slova v dalším jazyce: | photovoltaics;thin film;Si/SiO2;superstructures;optical and structural properties;deposition;deposition equipment;semiconductortechnique;FTIR;Raman spectroscopy;PECVD;PVD. |
Abstrakt: | Předkládaná diplomová práce "Příprava a studium křemíkových multivrstevnatých superstruktur a-Si:H/SiO2 pro PV" se zabývá technikami přípravy tenkých vrstev (PVD, CVD, PECVD), metodami jejich identifikace (optickou a strukturní analýzou vrstev) pomocí Ramanovy spektroskopie, FTIR, XRD, UV-Vis spektrofotometrie a spektroskopické elipsometrie. V praktické části je popsána příprava substrátů a multivrstevnatých vzorků, jejich žíhání a následná analýza (z výše zmíněných metod). K této činnosti bylo použito vybavení na pracovišti NTC ZČU v Plzni. |
Abstrakt v dalším jazyce: | This diploma thesis "Preparation and study of silicon multilayer superstructures a-Si:H/SiO2 for PV" deals with the techniques of thin films (PVD, CVD, PECVD), methods of their identification (optical and structural analysis) using Raman spectroscopy, FTIR, XRD, UV-Vis spectrophotometry and spectroscopic ellipsometry. The practical part of this work describes the preparation of substrates and multilayered samples, subsequent their annealing and analysis (of the above methods). For this research, there were used facilities at NTC of University of West Bohemia in Pilsen. |
Práva: | Plný text práce je přístupný bez omezení. |
Vyskytuje se v kolekcích: | Diplomové práce / Theses (KET) |
Soubory připojené k záznamu:
Soubor | Popis | Velikost | Formát | |
---|---|---|---|---|
DP_Kocourek_Lukas.pdf | Plný text práce | 11,94 MB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
058631_vedouci.pdf | Posudek vedoucího práce | 382,76 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
058631_oponent.pdf | Posudek oponenta práce | 381,54 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
058631_hodnoceni.pdf | Průběh obhajoby práce | 207,19 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam:
http://hdl.handle.net/11025/12389
Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.