| Název: | Pulzní magnetronová depozice vrstev Hf-Si-B-C-N |
| Další názvy: | Pulsed magnetron depozition of Hf-Si-B-C-N thin films and their properties |
| Autoři: | Jandová, Jitka |
| Vedoucí práce/školitel: | Vlček, Jaroslav Kohout, Jiří |
| Oponent: | Kubásek, Milan |
| Datum vydání: | 2014 |
| Nakladatel: | Západočeská univerzita v Plzni |
| Typ dokumentu: | diplomová práce |
| URI: | http://hdl.handle.net/11025/12667 |
| Klíčová slova: | pulzní depozice;magnetronové naprašování;tenké vrstvy;multikomponentní systém;diboridy přechodových kovů;hafnium;Hf-Si-B-C-(N) |
| Klíčová slova v dalším jazyce: | Pulsed deposition;magnetron sputtering;thin films;multicomponent system;diborides of transition metal;hafnium;Hf-Si-B-C-(N) |
| Abstrakt: | Předkládaná diplomová práce se zabývá přípravou multikomponentních tenkých vrstev Hf-Si-B-C a Hf-Si-B-C-N metodou pulzního magnetronového naprašování. Deponované vrstvy jsou následně zkoumány z hlediska prvkového složení a struktury, mechanických, tribologických, elektrických vlastností a oxidačních odolnosti. Cílem práce je především nalezení korelací mezí procesními parametry, prvkovým složením, strukturou a funkčními vlastnostmi materiálu. |
| Abstrakt v dalším jazyce: | This thesis is focused on multicomponent Hf-Si-B-C and Hf-Si-B-C-N thin films preparation by pulsed magnetron sputtering. The elemental composition, structure, mechanical, electrical properties and oxidation resistance of deposited films were subsequently evaluated. The main aim was to find the correlations between process parameters, elemental composition, structure and functional properties of these materials. |
| Práva: | Plný text práce je přístupný bez omezení. |
| Vyskytuje se v kolekcích: | Diplomové práce / Theses (KFY) |
Soubory připojené k záznamu:
| Soubor | Popis | Velikost | Formát | |
|---|---|---|---|---|
| Jandova_diplomova_prace.pdf | Plný text práce | 3,89 MB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
| Jandova_vedouci.pdf | Posudek vedoucího práce | 306,27 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
| Jandova_oponent.pdf | Posudek oponenta práce | 532,45 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
| Jandova_otazky.pdf | Průběh obhajoby práce | 206,04 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam:
http://hdl.handle.net/11025/12667Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.