Název: Time-resolved Langmuir probe diagnostics of high-power pulsed dc magnetron discharges during deposition of copper films
Autoři: Pajdarová, Andrea Dagmar
Vlček, Jaroslav
Musil, Jindřich
Kudláček, Pavel
Lukáš, Jan
Citace zdrojového dokumentu: XXVIII International conference on phenomena in ionized gases: July 15-20, 2007, Prague, Czech Republic: proceedings. Praha: Institute of Plasma Physics AS CR, 2007, p. 1960-1962.
Datum vydání: 2007
Nakladatel: Institute of Plasma Physics AS CR
Typ dokumentu: conferenceObject
URI: http://icpig2007.ipp.cas.cz/files/download/cd-cko/ICPIG2007/pdf/5P08-11.pdf
http://hdl.handle.net/11025/1439
ISBN: 978-80-87026-01-4
Klíčová slova: vysokovýkonový pulzní magnetron;magnetronová depozice;Langmuirova sonda;plazmová fyzika;diagnostika
Klíčová slova v dalším jazyce: high-power pulsed magnetron;magnetron deposition;Langmuir probe;plasma physics;diagnostics
Abstrakt: Elektronové rozdělovací funkce podle energie a lokální plazmové parametry byly zkoumány v pozici u substrátu (100mm od terče) pomocí časově rozlišené diagnostiky Langmuirovou sondou během vysokovýkonového pulzního dc magnetronového naprašování měděných vrstev. Velmi vysokých hustot plazmatu (až 2.1012cm-3) bylo dosaženo při opakovací frekvenci pulzů napětí fr=1kHz, délce pulzu t1=200μs, tlaku argonu p=1Pa a průměrném proudu v pulzu Ida=50A. Při stejných podmínkách kinetická energie elektronů rostla s rostoucím výkonem během pulzu. Po iniciační fázi byla v intervalu 10500-12500K. Na začátku pulzu byly zaznamenány poklesy plovoucího potenciálu plazmatu.
Práva: © Andrea Dagmar Pajdarová, Jaroslav Vlček, Jindřich Musil, Pavel Kudláček, Jan Lukáš
Vyskytuje se v kolekcích:Monografie a kolektivní monografie / Monographs and collective monographs (FAV)

Soubory připojené k záznamu:
Soubor Popis VelikostFormát 
5P08-11.pdf398,89 kBAdobe PDFZobrazit/otevřít


Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam: http://hdl.handle.net/11025/1439

Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.