Full metadata record
DC poleHodnotaJazyk
dc.contributor.authorPajdarová, Andrea Dagmar
dc.contributor.authorVlček, Jaroslav
dc.contributor.authorMusil, Jindřich
dc.contributor.authorKudláček, Pavel
dc.contributor.authorLukáš, Jan
dc.date.accessioned2013-03-06T11:27:59Z
dc.date.available2013-03-06T11:27:59Z
dc.date.issued2007
dc.identifier.citationXXVIII International conference on phenomena in ionized gases: July 15-20, 2007, Prague, Czech Republic: proceedings. Praha: Institute of Plasma Physics AS CR, 2007, p. 1960-1962.en
dc.identifier.isbn978-80-87026-01-4
dc.identifier.urihttp://icpig2007.ipp.cas.cz/files/download/cd-cko/ICPIG2007/pdf/5P08-11.pdf
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11025/1439
dc.description.abstractElektronové rozdělovací funkce podle energie a lokální plazmové parametry byly zkoumány v pozici u substrátu (100mm od terče) pomocí časově rozlišené diagnostiky Langmuirovou sondou během vysokovýkonového pulzního dc magnetronového naprašování měděných vrstev. Velmi vysokých hustot plazmatu (až 2.1012cm-3) bylo dosaženo při opakovací frekvenci pulzů napětí fr=1kHz, délce pulzu t1=200μs, tlaku argonu p=1Pa a průměrném proudu v pulzu Ida=50A. Při stejných podmínkách kinetická energie elektronů rostla s rostoucím výkonem během pulzu. Po iniciační fázi byla v intervalu 10500-12500K. Na začátku pulzu byly zaznamenány poklesy plovoucího potenciálu plazmatu.cs
dc.format2 s.cs
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.language.isoenen
dc.publisherInstitute of Plasma Physics AS CRen
dc.relation.ispartofseriesXXVIII International conference on phenomena in ionized gases: July 15-20, 2007, Prague, Czech Republic: proceedingsen
dc.rights© Andrea Dagmar Pajdarová, Jaroslav Vlček, Jindřich Musil, Pavel Kudláček, Jan Lukášcs
dc.subjectvysokovýkonový pulzní magnetroncs
dc.subjectmagnetronová depozicecs
dc.subjectLangmuirova sondacs
dc.subjectplazmová fyzikacs
dc.subjectdiagnostikaen
dc.titleTime-resolved Langmuir probe diagnostics of high-power pulsed dc magnetron discharges during deposition of copper filmsen
dc.typečlánekcs
dc.typekonferenční příspěvekcs
dc.typearticleen
dc.typeconferenceObjecten
dc.rights.accessopenAccessen
dc.type.versionpublishedVersionen
dc.subject.translatedhigh-power pulsed magnetronen
dc.subject.translatedmagnetron depositionen
dc.subject.translatedLangmuir probeen
dc.subject.translatedplasma physicsen
dc.subject.translateddiagnosticsen
dc.type.statusPeer-revieweden
Vyskytuje se v kolekcích:Monografie a kolektivní monografie / Monographs and collective monographs (KFY)

Soubory připojené k záznamu:
Soubor Popis VelikostFormát 
5P08-11.pdf398,89 kBAdobe PDFZobrazit/otevřít
Zobrazit minimální záznam Zobrazit statistiky


Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam: http://hdl.handle.net/11025/1439

Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.

hledání
navigace
  1. DSpace at University of West Bohemia
  2. Publikační činnost / Publications
  3. Fakulta aplikovaných věd / Faculty of Applied Sciences
  4. Katedra fyziky / Department of Physics
  5. Monografie a kolektivní monografie / Monographs and collective monographs (KFY)