Full metadata record
DC poleHodnotaJazyk
dc.contributor.advisorVlček, Jaroslav
dc.contributor.authorVytisk, Tomáš
dc.contributor.refereeKozák, Tomáš
dc.date.accepted2015-06-19
dc.date.accessioned2016-03-15T08:37:44Z-
dc.date.available2014-05-01cs
dc.date.available2016-03-15T08:37:44Z-
dc.date.issued2015
dc.date.submitted2015-05-31
dc.identifier64977
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11025/17815
dc.description.abstractTato práce je zaměřena na vysokovýkonovou pulzní magnetronovou depozici tenkých vrstev oxidu vanadu. Cílem je vytvořit termochromickou vrstvu oxidu vanadu, jejíž přechodová teplota bude nižší než 68 °C a bude vykazovat změny propustnosti v oblasti infračerveného záření. Vrstvy byly připravovány v plynné směsi argonu a kyslíku za konstantního tlaku pracovního plynu par = 1.0 Pa. Vanadiový terč (99.999 %)byl zatěžován průměrnou výkonovou hustotou při depozici <Sd> = 12.4 14.0 W/cm2. Délka trvání pulzu byla t1 = 40, 50 a 80 s s opakovací frekvencí napájecího zdroje f = 250, 200 a 125 Hz, dle uvedeného pořadí. Pomocí elipsometrie byla zjištěna tloušťka deponovaných vrstev a zkoumány optické parametry jako index lomu n a extinkční koeficient k. V této práci jsou prezentovány výsledky vlivu depozičních parametrů, zejména délky trvání pulzu t1, teploty substrátu T a délky depozičního procesu t (tloušťky vrstvy) na termochromické vlastnosti připravených vrstev.cs
dc.format56 s.cs
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.language.isoenen
dc.publisherZápadočeská univerzita v Plznics
dc.rightsPlný text práce je přístupný bez omezení.cs
dc.subjecthipimscs
dc.subjectoxid vanaducs
dc.subjectreaktivní magnetronové naprašovánícs
dc.subjecttermochomické vrstvycs
dc.titleReaktivní vysokovýkonová pulzní magnetronová depozice vrstev oxidů vanaducs
dc.title.alternativeReactive High Power Impulse Magnetron Sputtering of Vanadium Oxidesen
dc.typediplomová prácecs
dc.thesis.degree-nameIng.cs
dc.thesis.degree-levelNavazujícícs
dc.thesis.degree-grantorZápadočeská univerzita v Plzni. Fakulta aplikovaných vědcs
dc.thesis.degree-programAplikované vědy a informatikacs
dc.description.resultObhájenocs
dc.rights.accessopenAccessen
dc.description.abstract-translatedThe aim of this thesis is to fabricate thermochromic thin film of vanadium oxide. High power impulse magnetron sputtering is used to prepare a thermochromic film with structure changes below transition temperature Tc = 68 °C providing variable transmittance in infrared spectrum. The films were prepared in oxygen and argon gas mixture, at pressure of working gas (Ar) par = 1.0 Pa. A vanadium target (99.999 %) was loaded by average power density during deposition <Sd> = 12.4 14.0 W/cm2. Other deposition parameters were: voltage pulse length t1 = 40, 50 and 80 s with power supply repetition frequency f = 250, 200 a 125 Hz, respectively. Ellipsometry was used to measure optical characteristics () and parameters like refraction index n and extinction coefficient k. This work presents an influence of deposition parameters (voltage pulse length t1, substrate temperature T and deposition time t) on thermochromic behaviour of the thin films.en
dc.subject.translatedhipimsen
dc.subject.translatedvanadium oxideen
dc.subject.translatedreactive magnetron sputteringen
dc.subject.translatedthermochromic thin filmsen
Vyskytuje se v kolekcích:Diplomové práce / Theses (KFY)

Soubory připojené k záznamu:
Soubor Popis VelikostFormát 
Master's_Thesis_Vytisk.pdfPlný text práce2,94 MBAdobe PDFZobrazit/otevřít
vedouci-Vytisk_vedouci.pdfPosudek vedoucího práce338,62 kBAdobe PDFZobrazit/otevřít
oponent-Vytisk_oponent.pdfPosudek oponenta práce868,61 kBAdobe PDFZobrazit/otevřít
obhajoba-Vytisk_obhajoba.pdfPrůběh obhajoby práce240,42 kBAdobe PDFZobrazit/otevřít


Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam: http://hdl.handle.net/11025/17815

Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.