| Název: | Vysokoteplotní vrstvy Si-B-C-N a multifunkční vrstvy (Zr)-B-C-(N) připravené pulzním magnetronovým naprašováním |
| Další názvy: | High-temperature Si-B-C-N coatings and multifunctional (Zr)-B-C-(N) coatings prepared by pulsed magnetron sputtering |
| Autoři: | Steidl, Petr |
| Vedoucí práce/školitel: | Vlček, Jaroslav |
| Datum vydání: | 2015 |
| Nakladatel: | Západočeská univerzita v Plzni |
| Typ dokumentu: | disertační práce |
| URI: | http://hdl.handle.net/11025/20651 |
| Klíčová slova: | si-b-c_n;zr-b-c_n;magnetronové naprašování;nanokrystalické tenké vrstvy;vysokoteplotní stabilita;hr-tem;tga;pulzní naprašování |
| Klíčová slova v dalším jazyce: | si-b-c_n;zr-b-c-n;magnetron sputtering;nanocrystaline coatings;high-temperature resistance;hr-tem;tga;pulsed sputtering |
| Abstrakt: | První část dizertační se zabývá podrobnou studií mikrostruktury a mechanických a optických vlastností vrstev Si-B-C-N připravených reaktivní pulzní magnetronovou depozicí a následně žíhaných až do 1700°C ve vzduchu a inertních plynech. Druhá část dizertační práce je zaměřena na přípravu a studium vlastností vrstev (Zr)-B-C-(N). Pulzní reaktivní magnetronové naprašování při frekvenci pulzů 10 kHz s konstantním poměrem t 1 /T = 0,85, tedy při délce napěťového pulzu 85 us se ukázalo jako vhodná technika pro reprodukovatelnou přípravu vysoce kvalitních vrstev Zr-B-C-N s hladkým povrchem (průměrná drsnost Sa < 4 nm) bez defektů a dobrou adhezí k substrátům. |
| Abstrakt v dalším jazyce: | The first part of the thesis is focused on the detailed study of the microstructure and mechanical and optical properties of Si-B-C-N films prepared by reactive pulsed magnetron sputtering and consequently treated in air and inert gases up to 1700°C. The second part of the thesis is focused on the preparation and study of properties of (Zr)-B-C-(N) films. A pulsed reactive magnetron sputtering at a repetition frequency of pulses of 10 kHz with a fixed 85 % duty cycle, i.e. at a voltage pulse duration of 85 us, was found to be a suitable technique for a reproducible fabrication of high-quality defect-free Zr-B-C-N films with smooth surfaces (the average roughness Sa < 4 nm) and good adhesion to substrates. |
| Práva: | Plný text práce je přístupný bez omezení. |
| Vyskytuje se v kolekcích: | Disertační práce / Dissertations (KMA) |
Soubory připojené k záznamu:
| Soubor | Popis | Velikost | Formát | |
|---|---|---|---|---|
| Dizertacni prace - Petr Steidl.pdf | Plný text práce | 18,54 MB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
| oponent-posudky-odp-steidl.pdf | Posudek oponenta práce | 2,95 MB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
| obhajoba-protokol-odp-steidl.pdf | Průběh obhajoby práce | 828,46 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam:
http://hdl.handle.net/11025/20651Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.