Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorNetrvalová, Marie
dc.contributor.authorNovák, Petr
dc.contributor.authorŠutta, Pavol
dc.contributor.authorMedlín, Rostislav
dc.date.accessioned2018-02-21T11:35:25Z-
dc.date.available2018-02-21T11:35:25Z-
dc.date.issued2017
dc.identifier.citationNETRVALOVÁ, M., NOVÁK, P., ŠUTTA, P., MEDLÍN, R. Investigation of optical properties of ternary ZN-TI-O thin films prepared by magnetron reactive co-sputtering. Applied surface science, 2017, roč. 421, č. NOV 1 2017, s. 674-679. ISSN 0169-4332.en
dc.identifier.issn0169-4332
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11025/29259
dc.description.abstractTenké vrstvy Zn-Ti-O s různou koncentrací titanu byly deponovány reaktivním magnetronovým konaprašováním v reaktivní Ar/O2 atmosféře ze zinkového a titanového terče. Bylo zjišťěno, že se zvyšujícím obsahem Ti se struktura mění z plně krystalické wurzitové struktury ZnO se silnou přednostní kolumnární orientací na amorfní materiál Zn-Ti-O s 12.5 at% Ti. Optické parametry (spektrální index lomu a extinkční koeficient, optická šířka zakázaného pásu) a tloušťka vrstev byly hodnoceny kombinací elipsometrického měření a měření propustnosti na UV-Vis spektrofotometru. Pro hodnocení optických parametrů byl použit Cody-Lorentzův disperzní model.cs
dc.format6 s.
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.language.isoenen
dc.publisherElsevieren
dc.rightsPlný text není přístupný.cs
dc.rights© Elsevieren
dc.subjectZn-Ti-O tenká vrstvacs
dc.subjectmagnetronové konaprašovánícs
dc.subjectoptické vlastnostics
dc.subjectspektroskopická elipsometriecs
dc.subjectCody-Lorentzův modelcs
dc.subjectstrukturní vlastnostics
dc.titleVyšetřování optických vlastností tenké vrstvy terární sloučeniny Zn-Ti-O připraveného magnetronovým reaktivním konaprašovánímcs
dc.titleInvestigagion of optical properties of ternary ZN-TI-O thin films prepared by magnetron reactive co-sputteringen
dc.typečlánekcs
dc.typearticleen
dc.rights.accessclosedAccessen
dc.type.versionpublishedVersionen
dc.description.abstract-translatedZn-Ti-O thin films with different concentrations of titanium were deposited by reactive magnetron co-sputtering in a reactive Ar/O2 atmosphere from zinc and titanium targets. It was found that with increasing Ti content the structure of the films gradually changes from a fully crystalline pure ZnO wurtzite structure with a strongly preferred columnar orientation to an amorphous Zn-Ti-O material with 12.5 at% Ti. The optical parameters (spectral refractive index and extinction coefficient, optical band gap) and thickness of the films were analysed by the combined evaluation of ellipsometric measurements and measurements of transmittance on a UV-Vis spectrophotometer. For evaluation of optical parameters was used Cody-Lorentz dispersion model.en
dc.subject.translatedZn-Ti-O thin filmen
dc.subject.translatedmagnetron co-sputteringen
dc.subject.translatedoptical propertiesen
dc.subject.translatedspectroscopic ellipsometryen
dc.subject.translatedCody-Lorentz modelen
dc.subject.translatedstructural propertiesen
dc.identifier.doi10.1016/j.apsusc.2017.03.125
dc.type.statusPeer-revieweden
dc.identifier.obd43919416
dc.project.IDED2.1.00/03.0088/CENTEM - Centrum nových technologií a materiálůcs
dc.project.IDLO1402/CENTEM+cs
Appears in Collections:Články / Articles (CTM)
OBD

Files in This Item:
File SizeFormat 
NETRVALOVA_1-s2.0-S0169433217307845.pdf2,91 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy


Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11025/29259

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

search
navigation
  1. DSpace at University of West Bohemia
  2. Publikační činnost / Publications
  3. OBD