Full metadata record
DC poleHodnotaJazyk
dc.contributor.advisorKozák Tomáš, Ing. Ph.D.
dc.contributor.authorBělohoubek, Marek
dc.contributor.refereePajdarová Andrea Dagmar, Mgr. Ph.D.
dc.date.accepted2018-6-21
dc.date.accessioned2019-03-15T10:24:03Z-
dc.date.available2017-10-1-
dc.date.available2019-03-15T10:24:03Z-
dc.date.issued2018
dc.date.submitted2018-5-29
dc.identifier76637
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11025/32973
dc.description.abstractTato práce se zabývá simulací transportu neutrálních částic v magnetronových výbojích za nízkých tlaků. Zkoumá procesy v prostoru zadané geometrie a popisuje chování pracovního plynu během rozprašování kovového terče. V práci je shrnuta teorie magnetronového naprašování a numerické metody Direct Simulation Monte Carlo a popsán princip a možnosti použitého programu, který implementuje tuto metodu. Jsou provedeny simulace rozprašování titanu v argonové atmosféře při konstantním i pulzním výbojovém proudu. Je vypočítán celkový tok atomů terčového materiálu na substrát a rozdělovací funkce jejich energie. Diskutován je vliv fyzikálních veličin tlaku pracovního plynu a výbojového proudu a citlivost výsledků na vybraných parametrech numerického modelu.cs
dc.format48 s.cs
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.language.isocscs
dc.publisherZápadočeská univerzita v Plznics
dc.rightsPlný text práce je přístupný bez omezení.cs
dc.subjectmagnetronové naprašovánícs
dc.subjectmetoda direct simulation monte carlocs
dc.subjecttransport rozprášených atomůcs
dc.subjectzřeďování pracovního plynucs
dc.titleSimulace transportu rozprášených atomů v magnetronových výbojíchcs
dc.typebakalářská prácecs
dc.thesis.degree-nameBc.cs
dc.thesis.degree-levelBakalářskýcs
dc.thesis.degree-grantorZápadočeská univerzita v Plzni. Fakulta aplikovaných vědcs
dc.thesis.degree-programAplikované vědy a informatikacs
dc.description.resultObhájenocs
dc.rights.accessopenAccessen
dc.description.abstract-translatedThe main subject of this thesis is a simulation of transport of neutral particles in magnetron discharges at low pressure. It focuses on processes in the specified geometry and describes interaction of argon process gas with the sputtered metal. The theory of magnetron sputtering and of the Direct Simulation Monte Carlo numerical method is described. A computer program implementing this method is used for simulations of sputtering of a titanium target in argon atmosphere by constant and pulsed discharge currents. The total flux of atoms onto a substrate and their energy distribution is calculated. The effect of argon pressure and discharge current, as well as the effect of selected parameters of the numerical model are discussed.en
dc.subject.translatedmagnetron sputteringen
dc.subject.translatedmethod of direct simulation monte carloen
dc.subject.translatedtransportation of sputtered atomsen
dc.subject.translateddilution of the working atmosphereen
Vyskytuje se v kolekcích:Bakalářské práce / Bachelor´s works (KFY)

Soubory připojené k záznamu:
Soubor Popis VelikostFormát 
BP_Belohoubek.pdfPlný text práce6,97 MBAdobe PDFZobrazit/otevřít
Belohoubek_vedouci.pdfPosudek vedoucího práce461,99 kBAdobe PDFZobrazit/otevřít
Belohoubek_oponent.pdfPosudek oponenta práce991,53 kBAdobe PDFZobrazit/otevřít
Belohoubek_obhajoba.pdfPrůběh obhajoby práce223,49 kBAdobe PDFZobrazit/otevřít
Zobrazit minimální záznam Zobrazit statistiky


Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam: http://hdl.handle.net/11025/32973

Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.

hledání
navigace
  1. DSpace at University of West Bohemia
  2. Vysokoškolské kvalifikační práce / Theses
  3. Fakulta aplikovaných věd / Faculty of Applied Sciences
  4. Katedra fyziky / Department of Physics
  5. Bakalářské práce / Bachelor´s works (KFY)