Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.advisorPajdarová, Andrea Dagmar
dc.contributor.authorŠímová, Veronika
dc.contributor.refereeKozák, Tomáš
dc.date.accepted2012-06-27
dc.date.accessioned2013-06-19T06:55:55Z
dc.date.available2011-05-01cs
dc.date.available2013-06-19T06:55:55Z
dc.date.issued2012
dc.date.submitted2012-06-18
dc.identifier49908
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11025/3715
dc.description.abstractTato bakalářská práce je zaměřena na diagnostiku pulzních výbojů při depozici vrstev prostřednictvím optické emisní spektroskopie. V první části jsou popsány metody magnetronového naprašování, atomová a molekulová spektra a přístroje používané při optické emisní spektroskopii. Druhá část je věnována zkoumání spekter naměřených s použitím tantalového terče v atmosféře argonu v závislosti na střední hustotě výkonu v periodě při opakovací frekvenci pulzů napětí 500 Hz, délce pulzu 200 ?s, tlaku argonu 2 Pa a kolmé i podélné vzdálenosti kolimátoru od terče 20 mm. Dále byla zkoumána také závislost koncentrace zářivých stavů střední hustotě výkonu v periodě.cs
dc.format50 s. (66 000 znaků)cs
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.language.isocscs
dc.publisherZápadočeská univerzita v Plznics
dc.rightsPlný text práce je přístupný bez omezení.cs
dc.subjecttenké vrstvycs
dc.subjectpulzní magnetronové naprašovánícs
dc.subjectatomová a molekulová spektracs
dc.subjectoptická emisní spektroskopiecs
dc.subjectdiagnostika plazmatucs
dc.titleDiagnostika vysokovýkonových pulzních magnetronových výbojů pro reaktivní depozici vrstevcs
dc.title.alternativeDiagnostics of high-power impulse magnetron discharges for deposition of thin filmsen
dc.typebakalářská prácecs
dc.thesis.degree-nameBc.cs
dc.thesis.degree-levelBakalářskýcs
dc.thesis.degree-grantorZápadočeská univerzita v Plzni. Fakulta aplikovaných vědcs
dc.description.departmentKatedra fyzikycs
dc.thesis.degree-programAplikované vědy a informatikacs
dc.description.resultObhájenocs
dc.rights.accessopenAccess
dc.description.abstract-translatedThe bachelor thesis is focused on diagnostics of pulsed magnetron discharges during the deposition of thin films by means of optical emission spectroscopy. The first part of the thesis is dedicated to methods of magnetron sputtering, atomic and molecular spectra and equipment for optical emission spectroscopy. The second part is devoted to investigation of spectra measured with the use of tantalum target in argon atmosphere in dependence on an average power loading in a period at a repetition frequency of 500 Hz, a length of the voltage pulse of 200 ?s, an argon pressure of 2 Pa and both a vertical and a longitudinal distance of the collimator from the target of 20 mm. Furthermore the dependence of a concentration of radiative states on an average power loading in a pulse is analysed.en
dc.subject.translatedthin filmsen
dc.subject.translatedpulsed magnetron sputteringen
dc.subject.translatedatomic and molecular spectraen
dc.subject.translatedoptical emission spectroscopyen
dc.subject.translatedplasma diagnosticsen
Appears in Collections:Bakalářské práce / Bachelor´s works (KFY)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Simova_Veronika-Diagnostika vysokovykonovych pulznich magnetronovych vyboju pro depozici vrstev.pdfPlný text práce2,3 MBAdobe PDFView/Open
Simova_vedouci.pdfPosudek vedoucího práce393,46 kBAdobe PDFView/Open
Simova_oponent.pdfPosudek oponenta práce920,5 kBAdobe PDFView/Open
Simova_otazky.pdfPrůběh obhajoby práce213,91 kBAdobe PDFView/Open


Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11025/3715

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.