Full metadata record
DC pole | Hodnota | Jazyk |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | Musil, Jindřich | |
dc.contributor.author | Jaroš, Martin | |
dc.contributor.referee | Soukup, Zbyněk | |
dc.date.accepted | 2012-08-29 | |
dc.date.accessioned | 2013-06-19T06:55:56Z | - |
dc.date.available | 2011-05-01 | cs |
dc.date.available | 2013-06-19T06:55:56Z | - |
dc.date.issued | 2012 | |
dc.date.submitted | 2012-08-10 | |
dc.identifier | 50079 | |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11025/3720 | |
dc.description.abstract | Předmětem této práce jsou měření vlastností tenkých vrstev materiálu na bázi Cr-Cu-O, které byly připraveny pomocí pulzní reaktivní magnetronové depozice s využitím duálního magnetronu. Byl zkoumán vliv parciálního tlaku kyslíku na vlastnosti deponovaných vrstev. Jednotlivé vrstvy byly připraveny při konstantní výkonové hustotě v pulzu 30 W×cm-2, teplotě substrátu T = 500°C, s opakovací frekvencí fr = 20 kHz, ve směsi Ar + O2 o celkovém tlaku pT = 1,5 Pa. Bylo zjištěno, že vrstvy připravené za nižších parciálních tlaků kyslíků (pO2 = 0,04 ÷ 0,12 Pa) vykazují vyšší tvrdost (HIT = 12,4 ÷ 12,1 GPa) i drsnost (Ra = 82 ÷ 95 nm). Vrstvy připravené za vyšších tlaků (pO2 = 0,45 ÷ 1,5 Pa) byla u tenkovrstvých materiálů naměřena tvrdost (HIT = 6,3 ÷ 4,1 GPa) i drsnost (Ra = 1,3 ÷ 5,8 nm) nižší. S rostoucím parciálním tlakem kyslíku docházelo k poklesu depoziční rychlosti z hodnoty aD = 91,8 nm×min-1 pro pO2 = 0 Pa až na hodnotu aD = 22,5 nm×min-1 pO2 = 1,5 Pa. | cs |
dc.format | 41 s. | cs |
dc.format.mimetype | application/pdf | |
dc.language.iso | cs | cs |
dc.publisher | Západočeská univerzita v Plzni | cs |
dc.rights | Plný text práce je přístupný bez omezení. | cs |
dc.subject | reaktivní magnetronové naprašování | cs |
dc.subject | CrCuO | cs |
dc.subject | tenké vrstvy | cs |
dc.title | Reaktivní magnetronové naprašování vrstev CrCuO | cs |
dc.title.alternative | Reactive magnetron sputtering CrCuO films | en |
dc.type | bakalářská práce | cs |
dc.thesis.degree-name | Bc. | cs |
dc.thesis.degree-level | Bakalářský | cs |
dc.thesis.degree-grantor | Západočeská univerzita v Plzni. Fakulta aplikovaných věd | cs |
dc.description.department | Katedra fyziky | cs |
dc.thesis.degree-program | Aplikované vědy a informatika | cs |
dc.description.result | Obhájeno | cs |
dc.rights.access | openAccess | en |
dc.description.abstract-translated | The subject of this paper are measurements of the properties of thin Cr-Cu-O films, which were prepared by pulsed reactive magnetron sputtering with dual magnetron system. The influence of oxygen partial pressure on the properties of deposited Cr-Cu-O films was investigated. The films were prepared at a constant target power density in pulse 30 W×cm-2, substrate temperature T = 500 ° C, repetition frequency fr = 20 kHz in Ar + O2 gas mixture at the total pressure pT = 1.5 Pa . It has been found that thin films sputtered at lower oxygen partial pressure (pO2 = 0.04 ÷ 0.12 Pa) exhibit high hardness (HIT = 12.4 ÷ 12.1 GPa) and roughness (Ra = 82 ÷ 95 nm). For sputtering at higher pressures (pO2 = 0.45 ÷ 1.5 Pa) lower values of hardness (HIT = 6.3 ÷ 4.1 GPa) and roughness (Ra = 1.3 ÷ 5.8 nm) were measured. The deposition rate decreased with increasing partial pressure of oxygen from aD = 91,8 nm×min-1 (pO2 = 0 Pa) down to aD = 22,5 nm×min-1 (pO2 = 1,5 Pa) | en |
dc.subject.translated | reactive magnetron sputtering | en |
dc.subject.translated | CrCuO | en |
dc.subject.translated | thin films | en |
Vyskytuje se v kolekcích: | Bakalářské práce / Bachelor´s works (KFY) |
Soubory připojené k záznamu:
Soubor | Popis | Velikost | Formát | |
---|---|---|---|---|
Martin Jaros - Bakalarska prace.pdf | Plný text práce | 733,89 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
Jaros_vedouci.pdf | Posudek vedoucího práce | 96,56 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
Jaros_oponent.pdf | Posudek oponenta práce | 591,6 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
Jaros_otazky.pdf | Průběh obhajoby práce | 29,08 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam:
http://hdl.handle.net/11025/3720
Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.