Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorKumar, Nirmal
dc.contributor.authorHaviar, Stanislav
dc.contributor.authorRezek, Jiří
dc.contributor.authorBaroch, Pavel
dc.contributor.authorZeman, Petr
dc.date.accessioned2021-01-11T11:00:24Z-
dc.date.available2021-01-11T11:00:24Z-
dc.date.issued2020
dc.identifier.citationKUMAR, N., HAVIAR, S., REZEK, J., BAROCH, P., ZEMAN, P. Tuning Stoichiometry and Structure of Pd-WO3−x Thin Films for Hydrogen Gas Sensing by High-Power Impulse Magnetron Sputtering. Materials, 2020, roč. 13, č. 22, s. „5101-1“-„5101-12“. ISSN 1996-1944.cs
dc.identifier.issn1996-1944
dc.identifier.uri2-s2.0-85096083826
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11025/42427
dc.description.abstractPoužitím metody HiPIMS (vysokovýkonové pulzní magnetronové naprašování) a změnou parametrů při depozici jsme připravili vrstvy oxidu wolframu s různou stechiometrií a krystalickou strukturou. Po následném žíhání byly vrstvy podrobeny pečlivé analýze krystalické struktury (XRD), morfologie (SEM), složení (Ramanova spektroskopie, EDS) a upraveny jako konduktometrické senzory vodíku. Bylo zjištěno, že pomocí vhodného složení (substechiometrie okolo WO2,76) je možné syntetizovat vrstvy, které během žíhání krystalizují v monoklinické fázi. Tato fáze se ukázala jako nejcitlivější na vodík. Pro zvýšení citlivosti a snížení detekční teploty byly použity částice paladia připravené konvenčním DC magnetronovým naprašováním.cs
dc.format12 s.
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.language.isoenen
dc.publisherMDPIen
dc.relation.ispartofseriesMaterialsen
dc.rights© MDPIen
dc.subjectOxid wolframucs
dc.subjectWO3cs
dc.subjectdetekce vodíkucs
dc.subjectkontuktometrický plynový senzorcs
dc.subjectHiPIMScs
dc.subjectstechiometriecs
dc.titleTuning Stoichiometry and Structure of Pd-WO3−x Thin Films for Hydrogen Gas Sensing by High-Power Impulse Magnetron Sputteringen
dc.title.alternativeVliv struktury a stechiometrie vrstev Pd-WO3−x připravených metodou HiPIMS na senzorické vlastnosti při detekci vodíkucs
dc.typečlánekcs
dc.typearticleen
dc.rights.accessopenAccessen
dc.type.versionpublishedVersionen
dc.description.abstract-translatedBy tuning the deposition parameters of reactive high-power impulse magnetron sputtering, specifically the pulse length, we were able to prepare WO3−x films with various stoichiometry and structure. Subsequently, the films were annealed in air at moderate temperature (350 °C). We demonstrate that the stoichiometry of the as-deposited films influences considerably the type of crystalline phase formed in the annealed films. The appropriate sub-stoichiometry of the films (approx. WO2.76) enabled crystallization of the monoclinic phase during the annealing. This phase is favorable for hydrogen sensing applications. To characterize the sensory behavior of the films, the tungsten oxide films were decorated by Pd nanoparticles before annealing and were assembled as a conductometric gas sensor. The sensory response of the films that crystallized in the monoclinic structure was proven to be superior to that of the films containing other phasesen
dc.subject.translatedTungsten oxideen
dc.subject.translatedWO3en
dc.subject.translatedHydrogen sensingen
dc.subject.translatedConductometric gas sensoren
dc.subject.translatedHiPIMSen
dc.subject.translatedStoichiometryen
dc.identifier.doi10.3390/ma13225101
dc.type.statusPeer-revieweden
dc.identifier.document-number594972800001
dc.identifier.obd43931050
dc.project.IDGA19-13174S/Pokročilé nanomateriály s řízenou architekturou pro detekci vodíkucs
Appears in Collections:Články / Articles (NTIS)
Články / Articles (KFY)
OBD

Files in This Item:
File SizeFormat 
OBD20_Kumar,Haviar,Rezek_clanek.pdf3,38 MBAdobe PDFView/Open


Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11025/42427

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

search
navigation
  1. DSpace at University of West Bohemia
  2. Publikační činnost / Publications
  3. OBD