| Název: | Reaktivní magnetronová depozice vybraných oxidových vrstev a jejich vlastnosti |
| Další názvy: | Reactive magnetron sputtering of selected oxide films and their properties |
| Autoři: | Šatava, Václav |
| Vedoucí práce/školitel: | Musil, Jindřich |
| Datum vydání: | 2012 |
| Nakladatel: | Západočeská univerzita v Plzni |
| Typ dokumentu: | disertační práce |
| URI: | http://hdl.handle.net/11025/5441 |
| Klíčová slova: | Reaktivní magnetronová depozice;Al-Ti-O;Si-Zr-O;tepelná stabilita;vypařování |
| Klíčová slova v dalším jazyce: | Reactive magnetron sputtering;Al-Ti-O;Si-Zr-O;thermal stability;evaporation |
| Abstrakt: | Hlavní cíl této dizertační práce bylo zkoumání vlivu teploty (až do 1700°C) na strukturu a vlastnosti žíhaných vrstev Al-Ti-O a Si-Zr-O připravené pomocí reaktivního magnetronového naprašování. Poslední část této práce je zaměřena na zvýšení depoziční rychlosti kombinací procesů reaktivního naprašování a napařování z nataveného terče magnetronu. Tímto kombinovaným procesem byly připraveny velmi vysokou depoziční rychlostí (až 814 nm/min)transparentní amorfní SiO2 vrstvy s nízkým obsahem Zr. |
| Abstrakt v dalším jazyce: | The main aim of this dissertation thesis was investigation of influence of temperature (up to 1700°C) on structure and mechanical properties of annealed of films Al-Ti-O and Si-Zr-O prepared by reactive magnetron sputtering. The last part of this dissertation thesis is high deposition rate-oriented by combination of process of reactive sputtering and evaporation from molten target. With this combined process were prepared with very high deposition rate (up to 814 nm/min) transparent amorphous SiO2 films with low content Zr. |
| Práva: | Plný text práce je přístupný bez omezení. |
| Vyskytuje se v kolekcích: | Disertační práce / Dissertations (KMA) |
Soubory připojené k záznamu:
| Soubor | Popis | Velikost | Formát | |
|---|---|---|---|---|
| Dizertacni prace.pdf | Plný text práce | 2,28 MB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
| posudek-skolitel-satava.pdf | Posudek vedoucího práce | 32,43 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
| posudky-odp-satava.pdf | Posudek oponenta práce | 136,82 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
| zapis-odp-satava.pdf | Průběh obhajoby práce | 43,47 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam:
http://hdl.handle.net/11025/5441Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.