| Title: | Vliv tloušťky nanokompozitních vrstev Si-Zr-O na jejich mechanické vlastnosti |
| Other Titles: | Effect of thickness of Zr-Si-O nanocomposite layers on their mechanical properties |
| Authors: | Javdošňák, Daniel |
| Advisor: | Musil, Jindřich Sklenka, Josef |
| Referee: | Zeman, Petr |
| Issue Date: | 2013 |
| Publisher: | Západočeská univerzita v Plzni |
| Document type: | bakalářská práce |
| URI: | http://hdl.handle.net/11025/9864 |
| Keywords: | reaktivní magnetronové naprašování;tenké vrstvy;Zr-Si-O;měření mechanických vlastností;Fisherscope H100;Profilometr Dektak 8;XRD;XRF |
| Keywords in different language: | reactive magnetron sputtering;thin films;Zr-Si-O;thin oxide films of zirconium and silicium;measurement of mechanical properties;Fisherscope H100;Profilometer Dektak 8;XRD;XRF |
| Abstract: | Tato práce se zabývá problematikou tenkých vrstev deponovaných reaktivním magnetronovým naprašování. Řeší vliv tloušťky nanokompozitních vrstev Zr-Si-O na jejich mechanické vlastnosti. Práce se hlavně zaměřuje na vyšetření všech mechanických vlastností měřené mikrotvrdoměrem Fisherscope H100. Zkoumá závislost mezi zatížením a měřenými vlastnostmi jako jsou např. tvrdost, efektivní Youngův modul pružnosti, elastická vratnost materiálu a odolnost materiálu proti plastické deformaci. Dále práce zkoumá ovlivnění mechanických vlastností substrátem, vyhodnocuje specifická zatížení významě podílející se na odlišnosti výsledků, vyšetřuje měření s rozdílným počtem indentací (?vpichů?) a s rozdílnou zatěžovací dobou. Práce se také zaměřuje na měření těchto mechanických vlastností na vrstvách s různou strukturou. |
| Abstract in different language: | This thesis deals with the issue of thin films deposited by reactive magnetron sputtering. Solves the effect of thickness of nanocomposite films Zr-Si-O on their mechanical properties. This work is mainly focused on the identification of all mechanical properties measured by microhardness tester Fisherscope H100. It examines the relationship between the load and the measured properties such as hardness and effective Young's modulus, elastic recovery and resistance to plastic deformation. The thesis also examines the impact of substrate on the mechanical properties at high load film. The thesis evaluates a specific load, significantly contributing to the differences at the results. The thesis also investigates measurements with different number of indentation and different loading and unloading times. The work also focuses on measuring the mechanical properties of the films with different structures. |
| Rights: | Plný text práce je přístupný bez omezení. |
| Appears in Collections: | Bakalářské práce / Bachelor´s works (KFY) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Bakalarska_prace_-_Daniel_Javdosnak.pdf | Plný text práce | 1,27 MB | Adobe PDF | View/Open |
| Javdosnak_vedouci.pdf | Posudek vedoucího práce | 306,49 kB | Adobe PDF | View/Open |
| Javdosnak_oponent.pdf | Posudek oponenta práce | 799,62 kB | Adobe PDF | View/Open |
| Javdosnak_otazky.pdf | Průběh obhajoby práce | 207,03 kB | Adobe PDF | View/Open |
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/11025/9864Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.