Název: Fenomenologický model pro vysokovýkonovou pulzní reaktivní magnetronovou depozici dielektrických vrstev
Další názvy: A phenomenological model for high energy pulse reactive magnetron sputtering of dielectric layers
Autoři: Šula, Michal
Vedoucí práce/školitel: Vlček, Jaroslav
Kozák, Tomáš
Oponent: Kos, Šimon
Datum vydání: 2013
Nakladatel: Západočeská univerzita v Plzni
Typ dokumentu: bakalářská práce
URI: http://hdl.handle.net/11025/9867
Klíčová slova: naprašování tenkých vrstev;dielektrické tenké vrstvy;pulzní reaktivní naprašování;HiPIMS;fenomenologický model
Klíčová slova v dalším jazyce: thin films sputtering;dielectric thin films;pulsed reactive sputtering;HiPIMS;phenomenological model
Abstrakt: Předložená bakalářská práce se nejdříve zabývá obecným shrnutím současného stavu problematiky pulzního reaktivního naprašování tenkých dielektrických vrstev. Jsou popsány základní údaje a problémy tohoto oboru, a software užitý pro simulace srážek částic SDTrimSP. Dále se práce zabývá popsáním fenomenologického modelu reaktivního naprašování tenkých vrstev jeho následnou analýzou. Jsou prezentovány rovnice modelu, a následně použity k numerické simulaci naprašovacího procesu v kontinuálním, pulzním a HiPIMS režimu. Poté se práce zabývá vlivem některých vstupních parametrů modelu na výsledky výpočtů. Na závěr je shrnuta užitá literatura a zdroje.
Abstrakt v dalším jazyce: Presented thesis is first, at the beggining, focused on summation of the current state in the field of pulsed reactive sputtering of dielectric thin films. Basic terms and problems are presented, along with short description of SDTrimSP, a software used for simulation of particle collisions. Next, the work focuses on description of a phenomenological model of reactive sputtering of thin films, and it's following numerical simulation of continual, pulse and HiPIMS modes of sputtering. After that, several input parameters of the model are analysed. At the end, a list of used materials is presented.
Práva: Plný text práce je přístupný bez omezení
Vyskytuje se v kolekcích:Bakalářské práce (KFY) / Bachelor´s works (DP)

Soubory připojené k záznamu:
Soubor Popis VelikostFormát 
MichalSula-BakPrace.pdfPlný text práce1,86 MBAdobe PDFZobrazit/otevřít
Sula_vedouci.pdfPosudek vedoucího práce295,68 kBAdobe PDFZobrazit/otevřít
Sula_oponent.pdfPosudek oponenta práce1,54 MBAdobe PDFZobrazit/otevřít
Sula_otazky.pdfPrůběh obhajoby práce209,62 kBAdobe PDFZobrazit/otevřít


Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam: http://hdl.handle.net/11025/9867

Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.