Full metadata record
DC poleHodnotaJazyk
dc.contributor.authorPajdarová, Andrea Dagmar
dc.contributor.authorKozák, Tomáš
dc.contributor.authorČapek, Jiří
dc.contributor.authorTölg, Tomáš
dc.date.accessioned2022-07-25T10:00:11Z-
dc.date.available2022-07-25T10:00:11Z-
dc.date.issued2022
dc.identifier.citationPAJDAROVÁ, AD. KOZÁK, T. ČAPEK, J. TÖLG, T. On density distribution of Ti atom and ion ground states near the target in HiPIMS discharge using cavity ring-down spectroscopy and laser induced fluorescence. PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY, 2022, roč. 31, č. 5, s. "05LT04-1" - "05LT04-7". ISSN: 0963-0252cs
dc.identifier.issn0963-0252
dc.identifier.uri2-s2.0-85131099865
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11025/49269
dc.description.abstractCavity ring-down spektroskopie kombinovaná s laserem indukovanou spektroskopií byla využita během vysokovýkonového impulzního magnetronového rozprašování Ti terče k určení časového vývoje a prostorového rozložení hustot hladin v blízkosti terče pro Ti atomy a ionty spadající do multipletů základních stavů (MZS). Z těchto hustot byl vypočten odhad časového vývoje a prostorového rozložení stupně ionizace v blízkosti terče. Bylo zjištěno, že hustoty (počet částic v jednotce objemu) hladin v MZS Ti atomů a iontů se zvyšují s jejich energií a že nejvyšší hladiny v MZS vykazují inverzi v jejich populacích (hustota hladiny dělená její statistickou váhou) během napěťového pulzu. Inverze populací (vyšší populace hladin s vyšší energií než těch z energií nižší) je výrazná pro nejvyšší hladinu MZS Ti+ iontu a přetrvává i 40 µs po konci napěťového pulzu. Součet hustot hladin základního stavu dosahuje hodnot až 8,3 × 10^11 1/cm^3 pro Ti+ ionty nad erozní zónou terče a až 4,8 × 10^11 1/cm^3 pro Ti atomy nad středem terče pro režim se špičkovou hustotou výkonu 498 W/ cm^2. Časté ionizace Ti atomů nad erozní zónou terče se manifestují výraznými poklesy v prostorovém rozložení Ti atomů. Toto vede k velmi vysokému stupni ionizace až 94 % nad erozní zónou terče a tento stupeň ionizace zůstává vysoký i 40 µs po ukončení napěťového pulzu.cs
dc.format7 s.cs
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.language.isoenen
dc.publisherInstitute of Physicsen
dc.relation.ispartofseriesPlasma Sources Science & Technologyen
dc.rightsPlný text není přístupný.cs
dc.rights© IOP Publishingen
dc.subjectCavity ring-down spektroskopiecs
dc.subjectvysokovýkonové impulzní magnetronové rozprašovánícs
dc.subjecthustota atomů a iontůcs
dc.subjectlaserem indukovaná fluorescencecs
dc.subjecttitancs
dc.titleOn density distribution of Ti atom and ion ground states near the target in HiPIMS discharge using cavity ring-down spectroscopy and laser induced fluorescenceen
dc.title.alternativeO distribuci hustoty základních stavů Ti atomů a iontů blízko terče v HiPIMS výbojích užitím cavity ring-down spektroskopie a laserem indukované fluorescencecs
dc.typečlánekcs
dc.typearticleen
dc.rights.accessclosedAccessen
dc.type.versionpublishedVersionen
dc.description.abstract-translatedCavity ring-down spectroscopy combined with laser induced fluorescence was applied during a high-power impulse magnetron sputtering of Ti target to determine the time evolutions and spatial distributions of Ti atom and ion densities of levels belonging to the ground state multiplets (GSM) near the sputtered target. From these densities, an estimate of the time evolution and spatial distribution of the ionization degree near the target was calculated. It was found that the densities (number of particles per unit volume) of levels in GSM of Ti atom and ion increases with their level energies and the highest levels in GSMs show an inversion in their populations (the density of level divided by its statistical weight) during a voltage pulse. The population inversion (a higher population of levels with a higher energy than those with lower ones) is distinct for the highest level in GSM of Ti+ ion and it persists even at 40 µs after the voltage pulse end. The sum of ground state level densities reaches values up to 8.3 × 10^11 1/cm^3 for Ti+ ions above the target racetrack and up to 4.8 × 10^11 1/cm^3 for Ti atoms above the target center for the regime with the peak power density of 498 W/cm^2. A frequent ionization of Ti atoms above the target racetrack is manifested by distinct drops in the Ti atom spatial distribution. This leads to a very high ionization degree up to 94% at the racetrack position and the ionization degree stays also high 40 µs after the voltage pulse termination.en
dc.subject.translatedCavity ring-down spectroscopyen
dc.subject.translatedhigh-power impulse magnetron sputteringen
dc.subject.translatedatom and ion densityen
dc.subject.translatedlaser induced fluorescenceen
dc.subject.translatedtitaniumen
dc.identifier.doi10.1088/1361-6595/ac6d0b
dc.type.statusPeer-revieweden
dc.identifier.document-number798964000001
dc.identifier.obd43936272
dc.project.IDGA19-14011S/Design nových funkčních materiálů, a cest pro jejich reaktivní magnetronové naprašování, pomocí pokročilých počítačových simulacícs
Vyskytuje se v kolekcích:Články / Articles (NTIS)
OBD

Soubory připojené k záznamu:
Soubor VelikostFormát 
OBD22_Pajdarova,Kozak,Capek_clanek.pdf1,87 MBAdobe PDFZobrazit/otevřít  Vyžádat kopii
Zobrazit minimální záznam Zobrazit statistiky


Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam: http://hdl.handle.net/11025/49269

Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.

hledání
navigace
  1. DSpace at University of West Bohemia
  2. Publikační činnost / Publications
  3. OBD