Název: Mechanical and electrical properties of evaporated thin layers
Autoři: Vejmola, Tomáš
Yahya, Doaa
Sandera, Josef
Citace zdrojového dokumentu: Electroscope. 2014, č. 3, EDS 2014.
Datum vydání: 2014
Nakladatel: Západočeská univerzita v Plzni
Typ dokumentu: článek
article
URI: http://147.228.94.30/images/PDF/Rocnik2014/Cislo3_2014/r8c3c8.pdf
http://hdl.handle.net/11025/11824
ISSN: 1802-4564
Klíčová slova: tenké vrstvy;vakuové odpařování;mechanické vlastnosti;elektrické vlastnosti;elektrická měření
Klíčová slova v dalším jazyce: thin layers;vacuum evaporation;mechanical properties;electrical properties;electrical measurements
Abstrakt: The study deals with the vacuum evaporation technique of thin layers, considering different process parameters and their influence on electrical properties. Parameters, such as temperature, different substrate types, substrate vibrations, etc., are considered. The effects of the process parameters on the coating structure are observed. The temperature affects the coating quality and stability [1] [2]. Regarding electrical properties, the surface resistivity is measured by four-point method, whereas the influence of process parameters on the surface resistivity is determined as well.
Práva: Copyright © 2014 Electroscope. All Rights Reserved.
Vyskytuje se v kolekcích:Číslo 3 (2014)
Číslo 3 (2014)

Soubory připojené k záznamu:
Soubor Popis VelikostFormát 
Vejmola.pdfPlný text397,61 kBAdobe PDFZobrazit/otevřít


Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam: http://hdl.handle.net/11025/11824

Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.