| Název: | Time-averaged and time-resolved ion fluxes related to reactive HiPIMS deposition of Ti–Al–N films |
| Další názvy: | Časově průměrované a časově rozlišené toky iontů v reaktivní HiPIMS depozici vrstev Ti–Al–N |
| Autoři: | Zauner, L. Bahr, A. Kozák, Tomáš Čapek, Jiří Wojcik, T. Hunold, O. Kolozsvári, S. Zeman, Petr Mayrhofer, P.H. Riedl, H. |
| Citace zdrojového dokumentu: | ZAUNER, L. BAHR, A. KOZÁK, T. ČAPEK, J. WOJCIK, T. HUNOLD, O. KOLOZSVÁRI, S. ZEMAN, P. MAYRHOFER, P. RIEDL, H. Time-averaged and time-resolved ion fluxes related to reactive HiPIMS deposition of Ti–Al–N films. Surface and Coatings Technology, 2021, roč. 424, č. 25 OCT 2021, s. "127638-1" - "127638-12. ISSN: 0257-8972 |
| Datum vydání: | 2021 |
| Nakladatel: | Elsevier |
| Typ dokumentu: | článek article |
| URI: | 2-s2.0-85114121986 http://hdl.handle.net/11025/45437 |
| ISSN: | 0257-8972 |
| Klíčová slova: | HiPIMS;Ti–Al–N;tenká vrstva;hmotnostní spektroskopie;časově rozlišená spektroskopie |
| Klíčová slova v dalším jazyce: | HiPIMS;Ti–Al–N;thin film;mass spectroscopy;time-resolved |
| Abstrakt: | Práce se zabývá časově průměrovanou i časově rozlišenou analýzou toku ionů v reaktivní HiPIMS depozici pro přípravu tenkých vrstev Ti–Al–N z kompozitních Ti–Al terčů. Hmotnostní spektroskopie odhalila, že zvýšení obsahu Al v terči nebo snížení podílu N2 v reaktivní atmosféře vede k proporčnímu zvýšení podílu Al+ iontů v toku na substrát. Za zkoumaných depozičních podmínek byly připraveny kubické Ti–Al–N vrstvy vykazující vysokou tvrdost až ~36 GPa a zároveň nízké tlakové pnutí. |
| Abstrakt v dalším jazyce: | Time-averaged and time-resolved ion fluxes during reactive HiPIMS deposition of Ti–Al–N thin films are thoroughly investigated for the usage of Ti–Al composite targets. Ion mass spectroscopy analysis revealed, that increasing Al content in the target material or reducing the N2 flow-rate ratio leads to a proportional increase of the Al+-ion count fraction. The deposition conditions allowed for the growth of cubic Ti–Al–N coatings exhibiting high indentation hardness of up to ~36 GPa at a low compressive stress level. |
| Práva: | ©autoři |
| Vyskytuje se v kolekcích: | Články / Articles (NTIS) OBD |
Soubory připojené k záznamu:
| Soubor | Velikost | Formát | |
|---|---|---|---|
| OBD21_Kozak,Capek,Zeman,_clanek.pdf | 3,85 MB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam:
http://hdl.handle.net/11025/45437Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.