| Title: | Time-averaged and time-resolved ion fluxes related to reactive HiPIMS deposition of Ti–Al–N films |
| Other Titles: | Časově průměrované a časově rozlišené toky iontů v reaktivní HiPIMS depozici vrstev Ti–Al–N |
| Authors: | Zauner, L. Bahr, A. Kozák, Tomáš Čapek, Jiří Wojcik, T. Hunold, O. Kolozsvári, S. Zeman, Petr Mayrhofer, P.H. Riedl, H. |
| Citation: | ZAUNER, L. BAHR, A. KOZÁK, T. ČAPEK, J. WOJCIK, T. HUNOLD, O. KOLOZSVÁRI, S. ZEMAN, P. MAYRHOFER, P. RIEDL, H. Time-averaged and time-resolved ion fluxes related to reactive HiPIMS deposition of Ti–Al–N films. Surface and Coatings Technology, 2021, roč. 424, č. 25 OCT 2021, s. "127638-1" - "127638-12. ISSN: 0257-8972 |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | Elsevier |
| Document type: | článek article |
| URI: | 2-s2.0-85114121986 http://hdl.handle.net/11025/45437 |
| ISSN: | 0257-8972 |
| Keywords: | HiPIMS;Ti–Al–N;tenká vrstva;hmotnostní spektroskopie;časově rozlišená spektroskopie |
| Keywords in different language: | HiPIMS;Ti–Al–N;thin film;mass spectroscopy;time-resolved |
| Abstract: | Práce se zabývá časově průměrovanou i časově rozlišenou analýzou toku ionů v reaktivní HiPIMS depozici pro přípravu tenkých vrstev Ti–Al–N z kompozitních Ti–Al terčů. Hmotnostní spektroskopie odhalila, že zvýšení obsahu Al v terči nebo snížení podílu N2 v reaktivní atmosféře vede k proporčnímu zvýšení podílu Al+ iontů v toku na substrát. Za zkoumaných depozičních podmínek byly připraveny kubické Ti–Al–N vrstvy vykazující vysokou tvrdost až ~36 GPa a zároveň nízké tlakové pnutí. |
| Abstract in different language: | Time-averaged and time-resolved ion fluxes during reactive HiPIMS deposition of Ti–Al–N thin films are thoroughly investigated for the usage of Ti–Al composite targets. Ion mass spectroscopy analysis revealed, that increasing Al content in the target material or reducing the N2 flow-rate ratio leads to a proportional increase of the Al+-ion count fraction. The deposition conditions allowed for the growth of cubic Ti–Al–N coatings exhibiting high indentation hardness of up to ~36 GPa at a low compressive stress level. |
| Rights: | ©autoři |
| Appears in Collections: | Články / Articles (NTIS) OBD |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| OBD21_Kozak,Capek,Zeman,_clanek.pdf | 3,85 MB | Adobe PDF | View/Open |
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/11025/45437Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.