| Název: | Magnetronová depozice tenkovrstvých slitin ze systému W-Zr-Cu |
| Autoři: | Hodan, Ondřej |
| Vedoucí práce/školitel: | Zeman Petr, Prof. Ing. Ph.D. |
| Oponent: | Rezek Jiří, Ing. Ph.D. |
| Datum vydání: | 2023 |
| Nakladatel: | Západočeská univerzita v Plzni |
| Typ dokumentu: | diplomová práce |
| URI: | http://hdl.handle.net/11025/55048 |
| Klíčová slova: | w-zr-cu;magnetronové naprašování;struktura;pile-up;tvrdost;youngův modul;rezistivita |
| Klíčová slova v dalším jazyce: | w-zr-cu;magnetron sputtering;structure;pile-up;hardness;young modulus;resistivity |
| Abstrakt: | Tato diplomová práce se zabývá přípravou a zkoumáním magnetronově naprašovaných tenkovrstvých materiálů ze systému W-Zr-Cu. Jedná se o zcela nové materiály, o kterých zatím nebyla publikována žádná studie. Cílem práce bylo připravit tyto materiály s širokém rozsahu složení a charakterizovat je pomocí různých analytických metod. Vrstvy byly zkoumány z hlediska struktury, mikrostruktury a povrchové morfologie pomocí rentgenové difrakce, skenovací elektronové mikroskopie a mikroskopie atomárních sil. Dále pak byly indetačními metodami měřeny mechanické vlastnosti, přičemž byl brán ohled na přítomnost pile-up efektů. V neposlední řadě byla také měřena elektrická rezistivita pomocí čtyřbodové metody. Naměřená data byla zpracovávána a diskutována v kontextu současného poznání dílčích systémů Zr-Cu, W-Zr a W-Cu. |
| Abstrakt v dalším jazyce: | This thesis deals with the preparation and investigation of magnetron sputtered thin film materials from the W-Zr-Cu system. These are completely new materials about which no study has been published so far. The aim of the thesis was to prepare these materials in a wide range of compositions and to characterize them using various analytical methods. The films were investigated in terms of structure, microstructure and surface morphology using X-ray diffraction, scanning electron microscopy and atomic force microscopy. Furthermore, mechanical properties were measured by indentation methods taking into account the presence of pile-up effects. Finally, the electrical resistivity was also measured using the four-point probe. The measured data were processed and discussed in the context of the current understanding of the Zr-Cu, W-Zr and W-Cu sub-systems. |
| Práva: | Plný text práce je přístupný bez omezení |
| Vyskytuje se v kolekcích: | Diplomové práce / Theses (KFY) |
Soubory připojené k záznamu:
| Soubor | Popis | Velikost | Formát | |
|---|---|---|---|---|
| Hodan_DP.pdf | Plný text práce | 54,77 MB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
| DP_Hodan_oponent.pdf | Posudek oponenta práce | 190,58 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
| DP_Hodan_vedouci.pdf | Posudek vedoucího práce | 61,01 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
| DP_Hodan_obhajoba.pdf | Průběh obhajoby práce | 54,38 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam:
http://hdl.handle.net/11025/55048Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.