Full metadata record
DC poleHodnotaJazyk
dc.contributor.authorSvatoš, Vojtěch
dc.contributor.authorMárik, Marian
dc.contributor.authorPekárek, Jan
dc.contributor.authorSlavík, Jan
dc.contributor.authorChomoucká, Jana
dc.contributor.authorHubálek, Jaromír
dc.contributor.editorPihera, Josef
dc.contributor.editorSteiner, František
dc.date.accessioned2013-01-31T14:26:53Z
dc.date.available2013-01-31T14:26:53Z
dc.date.issued2012
dc.identifier.citationElectroscope. 2012, č. 6, EDS 2012.cs
dc.identifier.issn1802-4564
dc.identifier.urihttp://147.228.94.30/images/PDF/Rocnik2012/Cislo6_2012/r6c6c8.pdf
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11025/1049
dc.format3 s.cs
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.language.isoenen
dc.publisherZápadočeská univerzita v Plzni, Fakulta elektrotechnickács
dc.relation.ispartofseriesElectroscopecs
dc.rights© 2012 Electroscope. All rights reserved.en
dc.subjectnízkospotřebové tepelné membránycs
dc.subjectvýrobní procescs
dc.titleDesign and fabrication of MEMS low power heating membraneen
dc.typekonferenční příspěvekcs
dc.typeconferenceObjecten
dc.rights.accessopenAccessen
dc.type.versionpublishedVersionen
dc.description.abstract-translatedThe aim of this work is design and fabrication of micro hotplates. This type of device is often used for gas-sensing applications. The main goal is to produce the structure of the heating membrane using different fabrication process. Only wet etching process is used. Mainly two types of membranes are discussed – suspended and close type of the membrane. The sample which is going to be produced will be a membrane with the size of 1×1 mm, to ensure a suitable fabrication technology and the applicable design of the micro hotplate. The micro hotplates power consumption has to be up to 100 mW at the operating temperature 480 °C.en
dc.subject.translatedmanufacturing processen
dc.subject.translatedlow power heating membraneen
dc.type.statusPeer-revieweden
Vyskytuje se v kolekcích:Číslo 6 - EDS 2012 (2012)
Číslo 6 - EDS 2012 (2012)

Soubory připojené k záznamu:
Soubor Popis VelikostFormát 
r6c6c8.pdf444,3 kBAdobe PDFZobrazit/otevřít
Zobrazit minimální záznam Zobrazit statistiky


Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam: http://hdl.handle.net/11025/1049

Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.

hledání
navigace
  1. DSpace at University of West Bohemia
  2. Publikace ZČU / UWB Publications
  3. Časopisy ZČU / UWB Journals
  4. Electroscope
  5. Ročník 2012
  6. Číslo 6 - EDS 2012 (2012)