Název: Pulzní magnetronová depozice vrstev Hf-Si-B-C-N
Další názvy: Pulsed magnetron depozition of Hf-Si-B-C-N thin films and their properties
Autoři: Jandová, Jitka
Vedoucí práce/školitel: Vlček, Jaroslav
Kohout, Jiří
Oponent: Kubásek, Milan
Datum vydání: 2014
2014
Nakladatel: Západočeská univerzita v Plzni
Typ dokumentu: diplomová práce
URI: http://hdl.handle.net/11025/12667
Klíčová slova: pulzní depozice;magnetronové naprašování;tenké vrstvy;multikomponentní systém;diboridy přechodových kovů;hafnium;Hf-Si-B-C-(N)
Klíčová slova v dalším jazyce: Pulsed deposition;magnetron sputtering;thin films;multicomponent system;diborides of transition metal;hafnium;Hf-Si-B-C-(N)
Abstrakt: Předkládaná diplomová práce se zabývá přípravou multikomponentních tenkých vrstev Hf-Si-B-C a Hf-Si-B-C-N metodou pulzního magnetronového naprašování. Deponované vrstvy jsou následně zkoumány z hlediska prvkového složení a struktury, mechanických, tribologických, elektrických vlastností a oxidačních odolnosti. Cílem práce je především nalezení korelací mezí procesními parametry, prvkovým složením, strukturou a funkčními vlastnostmi materiálu.
Abstrakt v dalším jazyce: This thesis is focused on multicomponent Hf-Si-B-C and Hf-Si-B-C-N thin films preparation by pulsed magnetron sputtering. The elemental composition, structure, mechanical, electrical properties and oxidation resistance of deposited films were subsequently evaluated. The main aim was to find the correlations between process parameters, elemental composition, structure and functional properties of these materials.
Práva: Plný text práce je přístupný bez omezení.
Vyskytuje se v kolekcích:Diplomové práce (KFY) / Theses (DP)

Soubory připojené k záznamu:
Soubor Popis VelikostFormát 
Jandova_diplomova_prace.pdfPlný text práce3,89 MBAdobe PDFZobrazit/otevřít
Jandova_vedouci.pdfPosudek vedoucího práce306,27 kBAdobe PDFZobrazit/otevřít
Jandova_oponent.pdfPosudek oponenta práce532,45 kBAdobe PDFZobrazit/otevřít
Jandova_otazky.pdfPrůběh obhajoby práce206,04 kBAdobe PDFZobrazit/otevřít


Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam: http://hdl.handle.net/11025/12667

Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.