Název: Reaktivní magnetronová depozice vrstev Ti-Ni-N a vyšetření jejich vlastností
Další názvy: Reactive magnetron sputtering of Ti-Ni-N films and examination of their properties
Autoři: Jaroš, Martin
Vedoucí práce/školitel: Musil, Jindřich
Jílek, Richard
Oponent: Houška, Jiří
Datum vydání: 2014
Nakladatel: Západočeská univerzita v Plzni
Typ dokumentu: diplomová práce
URI: http://hdl.handle.net/11025/12672
Klíčová slova: reaktivní magnetronové naprašování;Ti-Ni-N;tenké vrstvy;odolnost proti vzniku trhlin
Klíčová slova v dalším jazyce: reactive magnetron sputtering;Ti-Ni-N;thin films;resistance to cracking
Abstrakt: Předmětem této práce bylo vytvoření tenkých vrstev materiálu na bázi Ti-Ni-N, které byly připraveny pomocí reaktivního magnetronového naprašování s využitím duálního magnetronu. U série 1 byl zkoumán vliv opakovací frekvence fr na mechanické vlastnosti tenkých vrstev Ti-Ni-N. U série 2 a 3 byl zkoumán vliv napětí na substrátu Us. Série 3 obsahuje navíc (oproti sérii 2) kovovou mezivrstvu Ti-Ni-N. U série 1 bylo zjištěno, že s přibývající hodnotou opakovací frekvence dochází k poklesu indentační tvrdosti. Pro série 2 a 3 platí, že vrstvy u kterých je jejich poměr H/E*  0,1 a elastická vratnost We > 60 % vykazují vyšší odolnost proti vzniku trhlin. Přičemž jejich indentační tvrdost přesahuje hodnotu H > 25 GPa.
Abstrakt v dalším jazyce: The subject of this paper was deposition thin Ti-Ni-N films, which were prepared by reactive magnetron sputtering with dual magnetron system. The influence of repetition frequency on the properties of deposited Ti-Ni-N films was investigated in series 1. The influence of substrate bias on the properties of deposited Ti-Ni-N films was investigated in series 2 and also in series 3. Compared series 2, series 3 additionally contains a metallic interlayer of Ti-Ni. It has been found that thin films sputtered in series 1 at higher repetition frequency exhibit lower hardness. In series 2 and 3 experiments demonstrate that the TiNiN films prepared with high ratio H/E*  0,1 and high elastic recovery We > 60 % exhibit an enhanced resistance against cracking in bending. These coatings are simultaneously hard H > 25 GPa.
Práva: Plný text práce je přístupný bez omezení
Vyskytuje se v kolekcích:Diplomové práce (KFY) / Theses (DP)

Soubory připojené k záznamu:
Soubor Popis VelikostFormát 
Diplomova prace Martin Jaros.pdfPlný text práce1,46 MBAdobe PDFZobrazit/otevřít
Jaros_vedouci.pdfPosudek vedoucího práce509,06 kBAdobe PDFZobrazit/otevřít
Jaros_oponent.pdfPosudek oponenta práce1,2 MBAdobe PDFZobrazit/otevřít
Jaros_otazky.pdfPrůběh obhajoby práce212,35 kBAdobe PDFZobrazit/otevřít


Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam: http://hdl.handle.net/11025/12672

Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.