Title: | Magnetronová depozice tenkých vrstev Zr-Si-O |
Authors: | Vonásek, Martin Musil, Jindřich |
Citation: | LUKEŠ, Vladimír ed. Studentská vědecká konference: magisterské a doktorské programy, sborník rozšířených abstraktů, květen 2014, Plzeň. Plzeň: Západočeská univerzita v Plzni, 2014, s. 35-36. ISBN 978-80-261-0365-3. |
Issue Date: | 2014 |
Publisher: | Západočeská univerzita v Plzni |
Document type: | konferenční příspěvek conferenceObject |
URI: | http://svk.fav.zcu.cz/download/sbornik_svk_2014.pdf http://hdl.handle.net/11025/21285 |
ISBN: | 978-80-261-0365-3 |
Keywords: | magnetronová depozice;Zr–Si–O;tenké vrstvy |
Keywords in different language: | magnetron deposition;Zr–Si–O;thin layers |
Rights: | © Západočeská univerzita v Plzni |
Appears in Collections: | Studentská vědecká konference 2014 Studentská vědecká konference 2014 |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Vonasek.pdf | Plný text | 427,59 kB | Adobe PDF | View/Open |
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/11025/21285
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.