| Title: | The influence of positive pulses on HiPIMS deposition of hard DLC coatings |
| Other Titles: | Vliv kladných pulzů na HiPIMS depozici tvrdých DLC vrstev |
| Authors: | Santiago, J.A. Fernández-Martínez, I. Kozák, Tomáš Čapek, Jiří Wennberg, A. Molina-Aldareguia, J.M. Bellido-González, V. González-Arrabal, R. Monclús, M.A. |
| Citation: | SANTIAGO, J., FERNÁNDEZ-MARTÍNEZ, I., KOZÁK, T., ČAPEK, J., WENNBERG, A., MOLINA-ALDAREGUIA, J., BELLIDO-GONZÁLEZ, V., GONZÁLEZ-ARRABAL, R., MONCLÚS, M. The influence of positive pulses on HiPIMS deposition of hard DLC coatings. Surface and Coatings Technology, 2019, roč. 358, č. 25 JAN 2019, s. 43-49. ISSN: 0257-8972 |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | Elsevier |
| Document type: | článek article |
| URI: | 2-s2.0-85056485259 http://hdl.handle.net/11025/31165 |
| ISSN: | 0257-8972 |
| Keywords: | HiPIMS;DLC;Tvrdé povlaky;Tribologie |
| Keywords in different language: | HiPIMS;Diamond-like carbon (DLC);Hard coatings;Tribology |
| Abstract: | Diamantu podobné uhlíkové vrstvy (DLC) byly připraveny novou metodou HiPIMS zahrnující kladné pulzy na terči po skončení hlavního (záporného) pulzu. Byl zkoumán vliv amplitudy kladných pulzů na výbojové podmínky a mechanické vlastnosti připravených vrstev. Při použití kladných pulzů byla zjištěna zvýšená ionizace argonu i uhlíku. Hmotnostní spektroskopie potvrdila vytváření většího množství vysokoenergetických iontů C+, přičemž střední energie iontů roste s amplitudou kladného pulzu. Bombardování rostoucí vrstvy těmito ionty vede k vyšším hodnotám hustoty DLC vrstev a k vyššímu tlakovému pnutí ve vrstvách. |
| Abstract in different language: | Diamond-like Carbon (DLC) coatings were deposited by a novel HiPIMS method that incorporates positive voltage pulses at the end of the conventional HiPIMS discharge. Different positive voltage amplitudes were used to evaluate the effect of this operation mode on the discharge process and the mechanical properties of the deposited DLC coatings. The application of positive pulses was observed to enhance the ionization of both the sputtered carbon and argon species. Mass spectroscopy measurements showed that a larger amount of high-energy C+ ions are generated, with ion energies proportional to the amplitude of the overshoot voltage. The ion bombardment induced by the positive pulses led to higher compressive residual stresses and densification of deposited DLC coatings. |
| Rights: | Plný text není přístupný. © Elsevier |
| Appears in Collections: | Články / Articles (NTIS) OBD |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| OBD19_Santiago,Kozak,Capek_et_al.pdf | 1,47 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/11025/31165Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.