Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorMusil, Jindřich
dc.contributor.authorČiperová, Zuzana
dc.contributor.authorČerstvý, Radomír
dc.contributor.authorHaviar, Stanislav
dc.date.accessioned2019-10-14T10:00:09Z-
dc.date.available2019-10-14T10:00:09Z-
dc.date.issued2019
dc.identifier.citationMUSIL, J., ČIPEROVÁ, Z., ČERSTVÝ, R., HAVIAR, S. Flexible hard (Zr, Si) alloy films prepared by magnetron sputtering. Thin Solid Films, 2019, roč. 688, č. 31 OCT 2019, s. „137216-1“-„137216-7“. ISSN 0040-6090.en
dc.identifier.issn0040-6090
dc.identifier.uri2-s2.0-85063863136
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11025/35394
dc.description.abstractČlánek pojednává o vyšetřování mechanických vlastností (Zr, Si) slitinových vrstev s vysokým obsahem Si připravených magnetronovým naprašováním. Hlavním cílem zkoumání bylo vyvinout ohebné tvrdé (Zr, Si) slitinové vrstvy se zvýšenou odolnosti proti vzniku trhlin. (Zr, Si) vrstvy byly připraveny pomocí pulzního duálního magnetronového výboje. Mechanické vlastnosti a prvkové složení (Zr, Si) vrstev byly řízeny záporným předpětím na substrátu, tedy energií dodanou do rostoucí vrstvy dopadajícími ionty. Bylo zjištěno, že pulzní duální magnetronový výboj umožňuje přípravu ohebných tvrdých (Zr, Si) slitinových vrstev s vysokou hodnotou tvrdosti H ≈ 20 GPa, poměrem H/E* > 0,1, elastickou vratností We > 60 %, kompresním pnutím a hustou mikrostrukturou bez pórů. Tyto slitinové vrstvy obsahují stejné množství Zr a Si v at. % a vykazují zvýšenou odolnost proti vzniku trhlin.cs
dc.format7 s.
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.language.isoenen
dc.publisherElsevieren
dc.relation.ispartofseriesThin Solid Filmsen
dc.rightsPlný text není přístupný.cs
dc.rights© Elsevieren
dc.subjectZr-Si slitinycs
dc.subjectTenké vrstvycs
dc.subjectStruktura, Mechanické vlastnostics
dc.subjectMikrostrukturacs
dc.subjectOdolnost proti vzniku trhlincs
dc.subjectMagnetronové naprašovánícs
dc.titleFlexible hard (Zr, Si) alloy films prepared by magnetron sputteringen
dc.title.alternativeOhebné tvrdé (Zr, Si) slitinové vrstvy připravené magnetronovým naprašovánímcs
dc.typečlánekcs
dc.typearticleen
dc.rights.accessclosedAccessen
dc.type.versionpublishedVersionen
dc.description.abstract-translatedThe article reports on the investigation of mechanical properties of Si-rich (Zr, Si) alloy films deposited by magnetron sputtering. The main aim of this investigation is to develop flexible hard (Zr, Si) alloy films with enhanced resistance to cracking. The (Zr, Si) films were formed by a pulsed dual magnetron discharge. Mechanical properties and elemental composition of sputtered (Zr, Si) films were tuned by a negative substrate bias, i.e. by the energy delivered to the growing film by bombarding ions. It was found that using of pulsed dual magnetron discharge makes it possible to deposit flexible hard (Zr, Si) alloy films with high values of hardness H ≈ 20 GPa, ratio H/E* > 0.1, elastic recovery We > 60%, compressive macrostress and dense, voids-free microstructure. These alloy films contain the same amount of Zr and Si in at.% and exhibit strongly enhanced resistance to cracking.en
dc.subject.translatedZirconium-silicon alloyen
dc.subject.translatedThin filmsen
dc.subject.translatedStructureen
dc.subject.translatedMechanical propertiesen
dc.subject.translatedMicrostructureen
dc.subject.translatedResistance to crackingen
dc.subject.translatedMagnetron sputteringen
dc.identifier.doi10.1016/j.tsf.2019.03.028
dc.type.statusPeer-revieweden
dc.identifier.document-number485256500020
dc.identifier.obd43926810
dc.project.IDLO1506/PUNTIS - Podpora udržitelnosti centra NTIS - Nové technologie pro informační společnostcs
Appears in Collections:Články / Articles (KFY)
OBD

Files in This Item:
File SizeFormat 
OBD19_Musil,Ciperova,Cerstvy_clanek.pdf1,36 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy


Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11025/35394

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

search
navigation
  1. DSpace at University of West Bohemia
  2. Publikační činnost / Publications
  3. OBD