Název: Tvorba polykrystalických křemíkových vrstev rekrystalizací amorfního křemíku deponovaného metodami PVD a CVD
Další názvy: Creation of polycrystalline silicon thin films by re-crystallization of amorphous silicon deposited by PVD and CVD methods
Autoři: Bublíková, Petra
Vedoucí práce/školitel: Šutta, Pavol
Oponent: Calta, Pavel
Datum vydání: 2012
Nakladatel: Západočeská univerzita v Plzni
Typ dokumentu: diplomová práce
URI: http://hdl.handle.net/11025/4609
Klíčová slova: amorfní křemík;mikrokrystalický křemík;tenké vrstvy;polovodiče;p-i-n přechod;tepelné zpracování;rekrystalizace;zakázaný pás;CVD depozice;PVD depozice;rentgenová difrakční analýza;optická spektroskopie;strukturní vlastnosti;absorpční vlastnosti;elektromagnetické záření;solární články.
Klíčová slova v dalším jazyce: amorphous silicon;microcrystalline silicon;thin films;semiconductors;p-i-n junction;heat treatment;re-crystallization;forbidden band;CVD deposition;PVD deposition;X-ray diffraction;optical spectroscopy;structural properties;absorbency;electromagnetic radiation;solar cells.
Abstrakt: Diplomová práce se zabývá tvorbou amorfních křemíkových vrstev o tloušťce přibližně 1 mikrometr, jejich tepelným zpracováním pro přeměnu amorfní fáze na krystalickou a vyhodnocením vlivu odlišných depozičních technik na strukturu po tepelném zpracování. Práce se zabývá výzkumem mikrostrukturních a optických vlastností vrstev po tepelném zpracování ve srovnání s výchozí strukturou po depozici. Vrstvy se využívají zejména pro tenkovrstvé solární články II. a III. generace. V systému solárních článků plní zkoumané vrstvy funkci absorpční.
Abstrakt v dalším jazyce: The diploma work deals with the creation of amorphous silicon thin films (thickness approximately 1 ?m) and with the heat treatment of these films to achieve the microcrystalline structure. The work deals with the different kinds of methods of deposition and their influence on properties of thin films after heat treatment in the comparison with thin films after deposition. The aim of this work is to evaluate the influence of various methods on the structural and optical properties which are important because of the right function of the thin film which has absorbency. These films are used for solar cells II. and III. generation.
Práva: Plný text práce je přístupný bez omezení
Vyskytuje se v kolekcích:Diplomové práce (KMM) / Theses (DMT)

Soubory připojené k záznamu:
Soubor Popis VelikostFormát 
DP_Bublikova.pdfPlný text práce1,9 MBAdobe PDFZobrazit/otevřít
Hodnoceni DP_Bublikova.tifPosudek vedoucího práce77,99 kBTIFFZobrazit/otevřít
OP_Bublikova.tifPosudek oponenta práce102,65 kBTIFFZobrazit/otevřít
Prubeh_Bublikova.tifPrůběh obhajoby práce38,62 kBTIFFZobrazit/otevřít


Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam: http://hdl.handle.net/11025/4609

Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.