Title: Tvorba polykrystalických křemíkových vrstev rekrystalizací amorfního křemíku deponovaného metodami PVD a CVD
Other Titles: Creation of polycrystalline silicon thin films by re-crystallization of amorphous silicon deposited by PVD and CVD methods
Authors: Bublíková, Petra
Advisor: Šutta, Pavol
Referee: Calta, Pavel
Issue Date: 2012
Publisher: Západočeská univerzita v Plzni
Document type: diplomová práce
URI: http://hdl.handle.net/11025/4609
Keywords: amorfní křemík;mikrokrystalický křemík;tenké vrstvy;polovodiče;p-i-n přechod;tepelné zpracování;rekrystalizace;zakázaný pás;CVD depozice;PVD depozice;rentgenová difrakční analýza;optická spektroskopie;strukturní vlastnosti;absorpční vlastnosti;elektromagnetické záření;solární články.
Keywords in different language: amorphous silicon;microcrystalline silicon;thin films;semiconductors;p-i-n junction;heat treatment;re-crystallization;forbidden band;CVD deposition;PVD deposition;X-ray diffraction;optical spectroscopy;structural properties;absorbency;electromagnetic radiation;solar cells.
Abstract: Diplomová práce se zabývá tvorbou amorfních křemíkových vrstev o tloušťce přibližně 1 mikrometr, jejich tepelným zpracováním pro přeměnu amorfní fáze na krystalickou a vyhodnocením vlivu odlišných depozičních technik na strukturu po tepelném zpracování. Práce se zabývá výzkumem mikrostrukturních a optických vlastností vrstev po tepelném zpracování ve srovnání s výchozí strukturou po depozici. Vrstvy se využívají zejména pro tenkovrstvé solární články II. a III. generace. V systému solárních článků plní zkoumané vrstvy funkci absorpční.
Abstract in different language: The diploma work deals with the creation of amorphous silicon thin films (thickness approximately 1 ?m) and with the heat treatment of these films to achieve the microcrystalline structure. The work deals with the different kinds of methods of deposition and their influence on properties of thin films after heat treatment in the comparison with thin films after deposition. The aim of this work is to evaluate the influence of various methods on the structural and optical properties which are important because of the right function of the thin film which has absorbency. These films are used for solar cells II. and III. generation.
Rights: Plný text práce je přístupný bez omezení
Appears in Collections:Diplomové práce / Theses (KMM)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
DP_Bublikova.pdfPlný text práce1,9 MBAdobe PDFView/Open
Hodnoceni DP_Bublikova.tifPosudek vedoucího práce77,99 kBTIFFView/Open
OP_Bublikova.tifPosudek oponenta práce102,65 kBTIFFView/Open
Prubeh_Bublikova.tifPrůběh obhajoby práce38,62 kBTIFFView/Open


Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11025/4609

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.