Full metadata record
DC pole | Hodnota | Jazyk |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | Pajdarová, Andrea Dagmar | |
dc.contributor.advisor | Kozák, Tomáš | |
dc.contributor.author | Krejčová, Milada | |
dc.contributor.referee | Slavík, Jan | |
dc.date.accepted | 2013-08-22 | |
dc.date.accessioned | 2014-02-06T12:56:20Z | - |
dc.date.available | 2012-05-01 | cs |
dc.date.available | 2014-02-06T12:56:20Z | - |
dc.date.issued | 2013 | |
dc.date.submitted | 2013-08-16 | |
dc.identifier | 54745 | |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11025/9865 | |
dc.description.abstract | Předkládaná bakalářská práce se v úvodu zabývá využitím plazmových technologií. Dále popisuje základy magnetronového naprašování, jejich vývoj a použití, přičemž se zaměřuje především na vysokovýkonové pulzní magnetronové naprašování. Poté rozebírá základní metody modelování a simulace plazmatu a zaobírá se jednotlivými modely pro vysokovýkonové pulzní magnetronové výboje. Ve zvolených metodách zpracování popisuje, jak byl doplněn stávající nestacionární model pro vysokovýkonové pulzní magnetronové rozprašování kovů o parametry nutné k modelování rozprašování tantalu, titanu a zirkonia. Ve výsledcích jsou ukázány a diskutovány závislosti proudové hustoty na třech různých parametrech - výbojovém napětí Ud, koe?cientu zpětného zachycení sekundárních elektronů terčem r a hodnotě faktoru určujícího sekundární emisi elektronů z terče po dopadu iontu rozprašovaného kovu s. | cs |
dc.format | 51 s. | cs |
dc.format.mimetype | application/pdf | |
dc.language.iso | cs | cs |
dc.publisher | Západočeská univerzita v Plzni | cs |
dc.relation.isreferencedby | https://portal.zcu.cz/StagPortletsJSR168/CleanUrl?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=54745 | - |
dc.rights | Plný text práce je přístupný bez omezení. | cs |
dc.subject | plazma | cs |
dc.subject | vysokovýkonové pulzní magnetronové naprašování | cs |
dc.subject | rozprašování kovů | cs |
dc.subject | HiPIMS | cs |
dc.subject | modelování | cs |
dc.subject | simulace | cs |
dc.subject | nestacionární globální model | cs |
dc.title | Nestacionární model pro vysokovýkonové pulzní magnetronové rozprašování kovů | cs |
dc.title.alternative | Non-stacionary model for High Power Magnetron sputtering of metals | en |
dc.type | bakalářská práce | cs |
dc.thesis.degree-name | Bc. | cs |
dc.thesis.degree-level | Bakalářský | cs |
dc.thesis.degree-grantor | Západočeská univerzita v Plzni. Fakulta aplikovaných věd | cs |
dc.description.department | Katedra fyziky | cs |
dc.thesis.degree-program | Aplikované vědy a informatika | cs |
dc.description.result | Obhájeno | cs |
dc.rights.access | openAccess | en |
dc.description.abstract-translated | The presented bachelor?s thesis is at the beggining focused on using of plasma tech-nologies. Next, it explains basics of magnetron sputtering, its developement and use, with focus on High Power Impulse Magnetron Sputtering. Afterwards, it discusses ba-sic methods in modelling and simulation of plasma, with closer look on speci?c models for High Power Impulse Magnetron Sputtering discharges. The thesis describes how current non-stationary model for High Power Impulse Magnetron Sputtering of metals was supplemented with parameters necessary for modelling of tantal, titanium and zir-conium sputtering. The results are presented and discussed, with focus on dependence of current density on three parameters: discharge voltage Ud, coe cient of recapture of secondary electrons to target r and factor of secondary emission of electrons from target after impact by ion of sputtered metal s. | en |
dc.subject.translated | plasma | en |
dc.subject.translated | high power impulse magnetron sputtering | en |
dc.subject.translated | sputtering of metals | en |
dc.subject.translated | HiPIMS | en |
dc.subject.translated | modelling | en |
dc.subject.translated | simulation | en |
dc.subject.translated | non-stacionary global model | en |
Vyskytuje se v kolekcích: | Bakalářské práce / Bachelor´s works (KFY) |
Soubory připojené k záznamu:
Soubor | Popis | Velikost | Formát | |
---|---|---|---|---|
BP - Krejcova Milada.pdf | Plný text práce | 4,67 MB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
Krejcova_vedouci.pdf | Posudek vedoucího práce | 525,03 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
Krejcova_oponent.pdf | Posudek oponenta práce | 579,18 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
Krejcova_otazky.pdf | Průběh obhajoby práce | 202,39 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam:
http://hdl.handle.net/11025/9865
Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.