| Název: | Design and fabrication of MEMS low power heating membrane |
| Autoři: | Svatoš, Vojtěch Márik, Marian Pekárek, Jan Slavík, Jan Chomoucká, Jana Hubálek, Jaromír |
| Citace zdrojového dokumentu: | Electroscope. 2012, č. 6, EDS 2012. |
| Datum vydání: | 2012 |
| Nakladatel: | Západočeská univerzita v Plzni, Fakulta elektrotechnická |
| Typ dokumentu: | konferenční příspěvek conferenceObject |
| URI: | http://147.228.94.30/images/PDF/Rocnik2012/Cislo6_2012/r6c6c8.pdf http://hdl.handle.net/11025/1049 |
| ISSN: | 1802-4564 |
| Klíčová slova: | nízkospotřebové tepelné membrány;výrobní proces |
| Klíčová slova v dalším jazyce: | manufacturing process;low power heating membrane |
| Abstrakt v dalším jazyce: | The aim of this work is design and fabrication of micro hotplates. This type of device is often used for gas-sensing applications. The main goal is to produce the structure of the heating membrane using different fabrication process. Only wet etching process is used. Mainly two types of membranes are discussed – suspended and close type of the membrane. The sample which is going to be produced will be a membrane with the size of 1×1 mm, to ensure a suitable fabrication technology and the applicable design of the micro hotplate. The micro hotplates power consumption has to be up to 100 mW at the operating temperature 480 °C. |
| Práva: | © 2012 Electroscope. All rights reserved. |
| Vyskytuje se v kolekcích: | Číslo 6 - EDS 2012 (2012) Číslo 6 - EDS 2012 (2012) |
Soubory připojené k záznamu:
| Soubor | Popis | Velikost | Formát | |
|---|---|---|---|---|
| r6c6c8.pdf | 444,3 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam:
http://hdl.handle.net/11025/1049Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.