Název: Design and fabrication of MEMS low power heating membrane
Autoři: Svatoš, Vojtěch
Márik, Marian
Pekárek, Jan
Slavík, Jan
Chomoucká, Jana
Hubálek, Jaromír
Citace zdrojového dokumentu: Electroscope. 2012, č. 6, EDS 2012.
Datum vydání: 31-pro-2012
Nakladatel: Západočeská univerzita v Plzni, Fakulta elektrotechnická
Typ dokumentu: článek
konferenční příspěvek
article
conferenceObject
URI: http://147.228.94.30/images/PDF/Rocnik2012/Cislo6_2012/r6c6c8.pdf
http://hdl.handle.net/11025/1049
ISSN: 1802-4564
Klíčová slova: nízkospotřebové tepelné membrány;výrobní proces
Klíčová slova v dalším jazyce: manufacturing process;low power heating membrane
Abstrakt: The aim of this work is design and fabrication of micro hotplates. This type of device is often used for gas-sensing applications. The main goal is to produce the structure of the heating membrane using different fabrication process. Only wet etching process is used. Mainly two types of membranes are discussed – suspended and close type of the membrane. The sample which is going to be produced will be a membrane with the size of 1×1 mm, to ensure a suitable fabrication technology and the applicable design of the micro hotplate. The micro hotplates power consumption has to be up to 100 mW at the operating temperature 480 °C.
Práva: © 2012 Electroscope. All rights reserved.
Vyskytuje se v kolekcích:Číslo 6 - EDS 2012 (2012)
Číslo 6 - EDS 2012 (2012)

Soubory připojené k záznamu:
Soubor Popis VelikostFormát 
r6c6c8.pdf444,3 kBAdobe PDFZobrazit/otevřít


Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam: http://hdl.handle.net/11025/1049

Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.