| Title: | Reaktivní magnetronová depozice Al-Si-N a charakterizace jejich vlastností |
| Other Titles: | Reactive magnetron deposition of Al-Si-N, and the characterization of their properties |
| Authors: | Javdošňák, Daniel |
| Advisor: | Musil, Jindřich |
| Referee: | Rezek, Jiří |
| Issue Date: | 2015 |
| Publisher: | Západočeská univerzita v Plzni |
| Document type: | diplomová práce |
| URI: | http://hdl.handle.net/11025/17813 |
| Keywords: | reaktivní magnetronová depozice;nenvyvážený magnetron;al-si-n;mechanické vlastnosti;odolnost proti praskání;indentační zkouška;ohybová zkouška;tvrdost;nanokompozit |
| Keywords in different language: | reactive magnetron deposition;unbalanced magnetron sputtering;al-si-n;mechanical properties;resistance to cracking;indentation test;bending test;hardness;nanocomposite |
| Abstract: | Tato diplomová práce pojednává o mechanických vlastnostech nanokompozitních vrstev Al-Si-N připravených nevyváženým magnetronovým naprašováním ze slitinového terče Al-Si (90 hm.% Al, 10 hm.% Si) a jejich odolnosti proti vzniku trhlin při namáhání ohybem a indentací s vysokým zatížením (až 1 N). Zabývá se hledáním depozičních podmínek, při kterých bude možné připravit vrstvy systému Al-Si-N se zvýšenou odolností proti vzniku trhlin. Vrstvy by měly vykazovat (i) parametr vyjadřující elasticitu H/E^*0.13, (ii) vysokou elastickou vratnost W_e80 %, (iii) makropnutí -1 GPa a (iv) střední potenciál substrátu v době pulzu U_sap|-50 | V, pro zvýšenou odolnost vůči vzniku trhlin. |
| Abstract in different language: | This diploma thesis deals with the mechanical properties of nanocomposite thin films Al-Si-N (Al:Si = 90:10 hm. %) deposited by unbalanced magnetron sputtering, their resistance to cracking in bending test and indentation test with high load until 1 N. This work is mainly focused on seeking appropriate deposition conditions where could be possible to prepare thin films of Al-Si-N system, with enhanced resistance to creation cracks. This films should exhibit (i) a parameter expressing the elasticity of layer H/E^*0.13, (ii) high elastic recovery W_e80 %, (iii) macrostress -1 GPa and (iv) average negative bias in pulse U_sap|-50 | V, for enhanced resistance to cracking. |
| Rights: | Plný text práce je přístupný bez omezení. |
| Appears in Collections: | Diplomové práce / Theses (KFY) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| DP_Javdosnak.pdf | Plný text práce | 3,04 MB | Adobe PDF | View/Open |
| vedouci-Javdosnak_vedouci.pdf | Posudek vedoucího práce | 429,78 kB | Adobe PDF | View/Open |
| oponent-Javdosnak_oponent.pdf | Posudek oponenta práce | 1,03 MB | Adobe PDF | View/Open |
| obhajoba-Javdosnak_obhajoba.pdf | Průběh obhajoby práce | 244,9 kB | Adobe PDF | View/Open |
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/11025/17813Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.