Title: Optimalizace naprašovaných ZnO:Al vrstev pro flexibilní nanogenerátor napětí
Authors: Němec, Josef
Advisor: Novák Petr, Ing. Ph.D.
Issue Date: 2017
Publisher: Západočeská univerzita v Plzni
Document type: bakalářská práce
URI: http://hdl.handle.net/11025/27350
Keywords: transparentní vodivé oxidy;tenké vrstvy zno:al;elektrické vlastnosti;optické vlastnosti;strukturní vlastnosti;nanogenerátor napětí;magnetronové naprašování
Keywords in different language: transparent conductive oxides;zno:al thin films;electrical properties;optical properties;structural properties;nanogenerator;magnetron sputtering
Abstract: Hlavním cílem této práce je optimalizovat depozici ZnO:Al vrstev tak, aby mohly nahradit vrstvu ITO ve flexibilním nanogenerátoru napětí. V úvodu je popsán flexibilní nanogenerátor napětí na bázi ZnO nanostruktur. Dále je popsána problematika transparentních vodivých oxidů (TCO), jejich elektrické a optické vlastnosti a charakterizován je vybraný materiál: oxid zinečnatý dopovaný hliníkem. Předmětem experimentu je analýza vlivu nevodivé mezifázové vrstvy na vlastnosti vrstev AZO a analýza vzorků vytvořených současným naprašováním ze dvou terčů, kde je zkoumán vliv koncentrace kyslíku ve vrstvách na jejich vlastnosti.
Abstract in different language: The main aim of this work is to optimize the deposition of ZnO:Al layer so that it can replace the ITO layer in the flexible nanogenerator. There is described a flexible nanogenerator based on ZnO nanostructures in the introduction. In the next part are described the transparent conductive oxides (TCOs), their electrical and optical properties and the selected material: aluminium dopped zinc oxide. The subject of the experimental part is to analyze the influence of the non-conducting interfacial layer on the properties of AZO layers and to analyze the samples created by co-sputtering from two targets, where the influence of the concentration of oxygen in the layers on their properties is investigated.
Rights: Plný text práce je přístupný bez omezení
Appears in Collections:Bakalářské práce / Bachelor´s works (KMM)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
BP_JosefNemec.pdfPlný text práce1,97 MBAdobe PDFView/Open
hodnoceni - NEMEC.pdfPosudek vedoucího práce927,06 kBAdobe PDFView/Open
Posudek - NEMEC.pdfPosudek oponenta práce248,78 kBAdobe PDFView/Open
BK - NEMEC.pdfPrůběh obhajoby práce595,96 kBAdobe PDFView/Open


Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11025/27350

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.