Název: Vlastnosti vrstev CNx připravených magnetronovým naprašováním
Další názvy: Properties of CNx coatings prepared by magnetron sputtering
Autoři: Procházka, Jan
Vedoucí práce/školitel: Musil, Jindřich
Oponent: Zeman, Petr
Datum vydání: 2012
2012
Nakladatel: Západočeská univerzita v Plzni
Typ dokumentu: diplomová práce
URI: http://hdl.handle.net/11025/3260
Klíčová slova: magnetronové naprašování;CNx;amorfní uhlík;tribologie;mikrotvrdost;elastická vratnost
Klíčová slova v dalším jazyce: magnetron sputtering;CNx;amorphous carbon;tribology;microhardness;elastic recovery
Abstrakt: V rámci této práce byly naprášeny uhlíkové vrstvy magnetronovou depozicí v argonové atmosféře a vrstvy CNx reaktivní magnetronovou depozicí v argon-dusíkové atmosféře. Byl zkoumán vliv teploty substrátu Ts a složení výbojového plynu na strukturní, mechanické a tribologické vlastnosti deponovaných vrstev. Všechny připravené vrstvy jsou dle RTG analýzy amorfní. S rostoucí teplotou substrátu Ts klesá množství dusíku zabudovaného v rostoucí vrstvě. Bylo zjištěno, že nejlepších tribologických vlastností dosahují a-C vrstvy (koeficient tření ? ~ 0,1, koeficient otěru k ~ 0,15 . 10-6 mm3/Nm) a tyto nezávisí na teplotě substrátu Ts. Vrstvy CNx mají vyšší koeficient tření (? ~ 0,25 - 0,40) a koeficient otěru (k ~ 0,14 - 0,60 . 10-6 mm3/Nm).
Abstrakt v dalším jazyce: This paper reports on carbon coatings and carbon-nitride (CNx) coatings deposited by reactive magnetron sputtering in argon-nitrogen atmosphere onto Si(100) substrates. The effect of subtrate temperature Ts and gas composition on structural, mechanical and tribological properties of sputtered coatings was investigated. All coatigs are X-ray amorphous. The ammount of nitrogen incorporated in the growing coating decreases with increasing temperature Ts . It was found that the best tribological performance exhibit a-C coatings (friction ? ~ 0,1}, wear k ~ 0,15 . 10-6 mm3/Nm}). The friction and wear of a-C coatings are independent on substrate temperature Ts. The CNx coatings exhibit a higher friction (? ~ 0,25 - 0,40}) and wear (\mat{k ~ 0,14 - 0,60 . 10-6 mm3/Nm}).
Práva: Plný text práce je přístupný bez omezení.
Vyskytuje se v kolekcích:Diplomové práce (KFY) / Theses (DP)

Soubory připojené k záznamu:
Soubor Popis VelikostFormát 
Diplomova_prace_Jan_Prochazka.pdfPlný text práce3,83 MBAdobe PDFZobrazit/otevřít
Prochazka_vedouci.pdfPosudek vedoucího práce421,9 kBAdobe PDFZobrazit/otevřít
Prochazka_oponent.pdfPosudek oponenta práce814,77 kBAdobe PDFZobrazit/otevřít
Prochazka_otazky.pdfPrůběh obhajoby práce34,09 kBAdobe PDFZobrazit/otevřít


Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam: http://hdl.handle.net/11025/3260

Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.