| Title: | Vlastnosti vrstev CNx připravených magnetronovým naprašováním |
| Other Titles: | Properties of CNx coatings prepared by magnetron sputtering |
| Authors: | Procházka, Jan |
| Advisor: | Musil, Jindřich |
| Referee: | Zeman, Petr |
| Issue Date: | 2012 |
| Publisher: | Západočeská univerzita v Plzni |
| Document type: | diplomová práce |
| URI: | http://hdl.handle.net/11025/3260 |
| Keywords: | magnetronové naprašování;CNx;amorfní uhlík;tribologie;mikrotvrdost;elastická vratnost |
| Keywords in different language: | magnetron sputtering;CNx;amorphous carbon;tribology;microhardness;elastic recovery |
| Abstract: | V rámci této práce byly naprášeny uhlíkové vrstvy magnetronovou depozicí v argonové atmosféře a vrstvy CNx reaktivní magnetronovou depozicí v argon-dusíkové atmosféře. Byl zkoumán vliv teploty substrátu Ts a složení výbojového plynu na strukturní, mechanické a tribologické vlastnosti deponovaných vrstev. Všechny připravené vrstvy jsou dle RTG analýzy amorfní. S rostoucí teplotou substrátu Ts klesá množství dusíku zabudovaného v rostoucí vrstvě. Bylo zjištěno, že nejlepších tribologických vlastností dosahují a-C vrstvy (koeficient tření ? ~ 0,1, koeficient otěru k ~ 0,15 . 10-6 mm3/Nm) a tyto nezávisí na teplotě substrátu Ts. Vrstvy CNx mají vyšší koeficient tření (? ~ 0,25 - 0,40) a koeficient otěru (k ~ 0,14 - 0,60 . 10-6 mm3/Nm). |
| Abstract in different language: | This paper reports on carbon coatings and carbon-nitride (CNx) coatings deposited by reactive magnetron sputtering in argon-nitrogen atmosphere onto Si(100) substrates. The effect of subtrate temperature Ts and gas composition on structural, mechanical and tribological properties of sputtered coatings was investigated. All coatigs are X-ray amorphous. The ammount of nitrogen incorporated in the growing coating decreases with increasing temperature Ts . It was found that the best tribological performance exhibit a-C coatings (friction ? ~ 0,1}, wear k ~ 0,15 . 10-6 mm3/Nm}). The friction and wear of a-C coatings are independent on substrate temperature Ts. The CNx coatings exhibit a higher friction (? ~ 0,25 - 0,40}) and wear (\mat{k ~ 0,14 - 0,60 . 10-6 mm3/Nm}). |
| Rights: | Plný text práce je přístupný bez omezení. |
| Appears in Collections: | Diplomové práce / Theses (KFY) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Diplomova_prace_Jan_Prochazka.pdf | Plný text práce | 3,83 MB | Adobe PDF | View/Open |
| Prochazka_vedouci.pdf | Posudek vedoucího práce | 421,9 kB | Adobe PDF | View/Open |
| Prochazka_oponent.pdf | Posudek oponenta práce | 814,77 kB | Adobe PDF | View/Open |
| Prochazka_otazky.pdf | Průběh obhajoby práce | 34,09 kB | Adobe PDF | View/Open |
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/11025/3260Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.