| Title: | Naprašování nanokompozitních vrstev Ti-Si-O-N a jejich vlastnosti |
| Other Titles: | Sputtering of Ti-Si-O-N nanocomposite films and their properties |
| Authors: | Zítek, Michal |
| Advisor: | Musil, Jindřich |
| Referee: | Tölg, Tomáš |
| Issue Date: | 2012 |
| Publisher: | Západočeská univerzita v Plzni |
| Document type: | bakalářská práce |
| URI: | http://hdl.handle.net/11025/3719 |
| Keywords: | Ti-Si-O-N;tenké vrstvy;reaktivní magnetronové naprašování;mechanické vlastnosti;optické vlastnosti |
| Keywords in different language: | Ti-Si-O-N;thin films;reactive magnetron sputtering;mechanical properties;optical properties |
| Abstract: | Předmětem této práce je příprava tenkých vrstev Ti-Si-O-N pomocí DC pulzního nevyváže-ného magnetronového naprašování. Byly použity dva skládané Si-Ti terče s různým poměrem Si a Ti v erozivní zóně pro přípravu dvou sérií vzorků. Reaktivní plyn (O2) byl napouštěn pulzně. Byl zkoumán vliv pracovního cyklu při pulzním napouštění O2 na strukturu, depoziční rychlost a optické a mechanické vlastnosti. Struktura byla zkoumána rentgenovou difrakcí. Optické vlastnosti byly zjišťovány pomocí spektrofotometru a elipsometru. Mechanické vlastnosti byly určovány ze zkoušky mikrotvrdosti. |
| Abstract in different language: | The subject of this thesis is the deposition of Ti-Si-O-N thin films using a pulsed DC reactive unbalanced magnetron sputtering. There were used two stacked Si-Ti targets with a different ratio of Si and Ti in the erosive zone for the deposition of samples from two series. Reactive gas pulsing process was used for oxygen. The duty cycle of oxygen on structure, deposition rate, optical and mechanical properties of the obtained films have been analysed. The structure of the films was characterized by X-ray diffraction. The optical properties were investigated by spectrophotometer and ellipsometry. Mechanical properties were determined of microhardness test. |
| Rights: | Plný text práce je přístupný bez omezení. |
| Appears in Collections: | Bakalářské práce / Bachelor´s works (KFY) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Zitek - Bakalarska prace.pdf | Plný text práce | 1,94 MB | Adobe PDF | View/Open |
| Zitek_vedouci.pdf | Posudek vedoucího práce | 372,65 kB | Adobe PDF | View/Open |
| Zitek_oponent.pdf | Posudek oponenta práce | 481,89 kB | Adobe PDF | View/Open |
| Zitek_otazky.pdf | Průběh obhajoby práce | 196,68 kB | Adobe PDF | View/Open |
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/11025/3719Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.