Název: Tenkovrstvé procesy v elektronice
Další názvy: Thin-film processes in electronics
Autoři: Fejt, Martin
Vedoucí práce/školitel: Řeboun, Jan
Oponent: Štulík, Jiří
Datum vydání: 2012
Nakladatel: Západočeská univerzita v Plzni
Typ dokumentu: bakalářská práce
URI: http://hdl.handle.net/11025/4003
Klíčová slova: tenké vrstvy;depozice;napařování;naprašování;vývěvy;substráty;uhlík;hliník;zlato;argon;magnetron
Klíčová slova v dalším jazyce: thin layers;deposition;evaporation;shuttering;vacuum pump;substrate;carbon;aluminum;gold;argon;magnetron
Abstrakt: Bakalářská práce je zaměřena na tenkovrstvé procesy v elektrotechnice. Jedná se o velice důležitou a rozšířenou oblast, která zasahuje velké spektrum aplikací, od výroby samostatných součástek až po integrované obvody. V práci jsou popsány postupy pro vytváření tenkých vrstev včetně zařízení k tomu potřebných, jako jsou vývěvy, vakuoměry a další. V poslední části práce jsou popsány výsledky experimentu provedeného za účelem bližšího pochopení problematiky a ověření předpokladů.
Abstrakt v dalším jazyce: The bachelor thesis is focused on thin-film processes in electronics. This filed of electronics is very important and widely applied. Such as manufacturing electric components or integrated circuits. Necessary devices like vacuum pumps, vacuum gauges and etc. are described including procedures of depositing thin layers. The results of experiment made for betted understanding and validation of expected hypothesis is located in the last part of my thesis.
Práva: Plný text práce je přístupný bez omezení
Vyskytuje se v kolekcích:Bakalářské práce / Bachelor´s works (KAE)

Soubory připojené k záznamu:
Soubor Popis VelikostFormát 
BP - Martin Fejt.pdfPlný text práce1,84 MBAdobe PDFZobrazit/otevřít
040640_vedouci.pdfPosudek vedoucího práce310,92 kBAdobe PDFZobrazit/otevřít
040640_oponent.pdfPosudek oponenta práce310,56 kBAdobe PDFZobrazit/otevřít
040640_hodnoceni.pdfPrůběh obhajoby práce123,81 kBAdobe PDFZobrazit/otevřít


Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam: http://hdl.handle.net/11025/4003

Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.