| Název: | Tenkovrstvé procesy v elektronice |
| Další názvy: | Thin-film processes in electronics |
| Autoři: | Fejt, Martin |
| Vedoucí práce/školitel: | Řeboun, Jan |
| Oponent: | Štulík, Jiří |
| Datum vydání: | 2012 |
| Nakladatel: | Západočeská univerzita v Plzni |
| Typ dokumentu: | bakalářská práce |
| URI: | http://hdl.handle.net/11025/4003 |
| Klíčová slova: | tenké vrstvy;depozice;napařování;naprašování;vývěvy;substráty;uhlík;hliník;zlato;argon;magnetron |
| Klíčová slova v dalším jazyce: | thin layers;deposition;evaporation;shuttering;vacuum pump;substrate;carbon;aluminum;gold;argon;magnetron |
| Abstrakt: | Bakalářská práce je zaměřena na tenkovrstvé procesy v elektrotechnice. Jedná se o velice důležitou a rozšířenou oblast, která zasahuje velké spektrum aplikací, od výroby samostatných součástek až po integrované obvody. V práci jsou popsány postupy pro vytváření tenkých vrstev včetně zařízení k tomu potřebných, jako jsou vývěvy, vakuoměry a další. V poslední části práce jsou popsány výsledky experimentu provedeného za účelem bližšího pochopení problematiky a ověření předpokladů. |
| Abstrakt v dalším jazyce: | The bachelor thesis is focused on thin-film processes in electronics. This filed of electronics is very important and widely applied. Such as manufacturing electric components or integrated circuits. Necessary devices like vacuum pumps, vacuum gauges and etc. are described including procedures of depositing thin layers. The results of experiment made for betted understanding and validation of expected hypothesis is located in the last part of my thesis. |
| Práva: | Plný text práce je přístupný bez omezení. |
| Vyskytuje se v kolekcích: | Bakalářské práce / Bachelor´s works (KAE) |
Soubory připojené k záznamu:
| Soubor | Popis | Velikost | Formát | |
|---|---|---|---|---|
| BP - Martin Fejt.pdf | Plný text práce | 1,84 MB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
| 040640_vedouci.pdf | Posudek vedoucího práce | 310,92 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
| 040640_oponent.pdf | Posudek oponenta práce | 310,56 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
| 040640_hodnoceni.pdf | Průběh obhajoby práce | 123,81 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam:
http://hdl.handle.net/11025/4003Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.
hledání
navigace