Title: Tenkovrstvé procesy v elektronice
Other Titles: Thin-film processes in electronics
Authors: Fejt, Martin
Advisor: Řeboun, Jan
Referee: Štulík, Jiří
Issue Date: 2012
Publisher: Západočeská univerzita v Plzni
Document type: bakalářská práce
URI: http://hdl.handle.net/11025/4003
Keywords: tenké vrstvy;depozice;napařování;naprašování;vývěvy;substráty;uhlík;hliník;zlato;argon;magnetron
Keywords in different language: thin layers;deposition;evaporation;shuttering;vacuum pump;substrate;carbon;aluminum;gold;argon;magnetron
Abstract: Bakalářská práce je zaměřena na tenkovrstvé procesy v elektrotechnice. Jedná se o velice důležitou a rozšířenou oblast, která zasahuje velké spektrum aplikací, od výroby samostatných součástek až po integrované obvody. V práci jsou popsány postupy pro vytváření tenkých vrstev včetně zařízení k tomu potřebných, jako jsou vývěvy, vakuoměry a další. V poslední části práce jsou popsány výsledky experimentu provedeného za účelem bližšího pochopení problematiky a ověření předpokladů.
Abstract in different language: The bachelor thesis is focused on thin-film processes in electronics. This filed of electronics is very important and widely applied. Such as manufacturing electric components or integrated circuits. Necessary devices like vacuum pumps, vacuum gauges and etc. are described including procedures of depositing thin layers. The results of experiment made for betted understanding and validation of expected hypothesis is located in the last part of my thesis.
Rights: Plný text práce je přístupný bez omezení.
Appears in Collections:Bakalářské práce / Bachelor´s works (KAE)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
BP - Martin Fejt.pdfPlný text práce1,84 MBAdobe PDFView/Open
040640_vedouci.pdfPosudek vedoucího práce310,92 kBAdobe PDFView/Open
040640_oponent.pdfPosudek oponenta práce310,56 kBAdobe PDFView/Open
040640_hodnoceni.pdfPrůběh obhajoby práce123,81 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11025/4003

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

search
navigation
  1. DSpace at University of West Bohemia
  2. Vysokoškolské kvalifikační práce / Theses
  3. Fakulta elektrotechnická / Faculty of Electrical Engineering
  4. Katedra aplikované elektroniky a telekomunikací / Department of Applied Electronics and Telecommunications
  5. Bakalářské práce / Bachelor´s works (KAE)