| Title: | Pulzní magnetronová depozice nových nanostrukturních multikomponentních vrstev |
| Other Titles: | Pulsed magnetron deposition of new nanostructured multicomponent films |
| Authors: | Procházka, Michal |
| Advisor: | Vlček, Jaroslav Kohout, Jiří |
| Referee: | Kubásek, Milan |
| Issue Date: | 2013 |
| Publisher: | Západočeská univerzita v Plzni |
| Document type: | bakalářská práce |
| URI: | http://hdl.handle.net/11025/9866 |
| Keywords: | vrstvy Hf-B-Si-C;pulzní magnetronové naprašování;zbytkové pnutí;tvrdost;oxidační odolnost |
| Keywords in different language: | Hf-B-Si-C films;Pulsed magnetron sputtering;Residual stress;hardness;oxidation resistance |
| Abstract: | Vrstvy Hf-B-C vykazují vysokou tvrdost a nízkou rezistivitu. V důsledku toho jsou zajímavé pro mnoho praktických aplikací. Hlavním cílem této práce bylo zkoumat vliv depozičních parametrů a přidávání přímesí na snížení kompresního pnutí a zachování vysoké tvrdosti vrstev připravených pulzní magnetronovou depozicí. Ukázalo se, že změna depozičního tlaku sice vedla ke snížení pnutí, ale za cenu poklesu tvrdosti. Podobné výsledky jsme dostali i při změně depozičního výkonu. Jedinou efektivní cestou se tedy prokázalo přidávání křemíku do vrstvy, které vedlo ke snížení pnutí při zachování vysoké tvrdosti. Zároveň bylo dosaženo lepší oxidační odolnosti materiálu. |
| Abstract in different language: | Hf-B-C films exhibit high hardness and low electrical resistivity. That makes them interesting for many different applications. The main aim of this study was to investigate the effects of deposition parameters and addition of silicon on compressive stress in films prepared by pulsed magnetron sputtering. It was found that the change of deposition pressure is not an effective way to reduce the residual stress because of worsening of the hardness. The same conclusions were observed in the case of the deposition power. It was proved that the only effective is an addition of silicon which significantly reduce compressive stress without worsening of the hardness and improve oxidation resistance of the material. |
| Rights: | Plný text práce je přístupný bez omezení. |
| Appears in Collections: | Bakalářské práce / Bachelor´s works (KFY) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Bakalarska prace - Michal Prochazka.pdf | Plný text práce | 2,01 MB | Adobe PDF | View/Open |
| ProchazkaM_vedouci.pdf | Posudek vedoucího práce | 296,12 kB | Adobe PDF | View/Open |
| ProchazkaM_oponent.pdf | Posudek oponenta práce | 588,5 kB | Adobe PDF | View/Open |
| ProchazkaM_otazky.pdf | Průběh obhajoby práce | 216,24 kB | Adobe PDF | View/Open |
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/11025/9866Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.