| Title: | Simulace transportu rozprášených atomů v magnetronových výbojích |
| Authors: | Bělohoubek, Marek |
| Advisor: | Kozák Tomáš, Ing. Ph.D. |
| Referee: | Pajdarová Andrea Dagmar, Mgr. Ph.D. |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | Západočeská univerzita v Plzni |
| Document type: | bakalářská práce |
| URI: | http://hdl.handle.net/11025/32973 |
| Keywords: | magnetronové naprašování;metoda direct simulation monte carlo;transport rozprášených atomů;zřeďování pracovního plynu |
| Keywords in different language: | magnetron sputtering;method of direct simulation monte carlo;transportation of sputtered atoms;dilution of the working atmosphere |
| Abstract: | Tato práce se zabývá simulací transportu neutrálních částic v magnetronových výbojích za nízkých tlaků. Zkoumá procesy v prostoru zadané geometrie a popisuje chování pracovního plynu během rozprašování kovového terče. V práci je shrnuta teorie magnetronového naprašování a numerické metody Direct Simulation Monte Carlo a popsán princip a možnosti použitého programu, který implementuje tuto metodu. Jsou provedeny simulace rozprašování titanu v argonové atmosféře při konstantním i pulzním výbojovém proudu. Je vypočítán celkový tok atomů terčového materiálu na substrát a rozdělovací funkce jejich energie. Diskutován je vliv fyzikálních veličin tlaku pracovního plynu a výbojového proudu a citlivost výsledků na vybraných parametrech numerického modelu. |
| Abstract in different language: | The main subject of this thesis is a simulation of transport of neutral particles in magnetron discharges at low pressure. It focuses on processes in the specified geometry and describes interaction of argon process gas with the sputtered metal. The theory of magnetron sputtering and of the Direct Simulation Monte Carlo numerical method is described. A computer program implementing this method is used for simulations of sputtering of a titanium target in argon atmosphere by constant and pulsed discharge currents. The total flux of atoms onto a substrate and their energy distribution is calculated. The effect of argon pressure and discharge current, as well as the effect of selected parameters of the numerical model are discussed. |
| Rights: | Plný text práce je přístupný bez omezení. |
| Appears in Collections: | Bakalářské práce / Bachelor´s works (KFY) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| BP_Belohoubek.pdf | Plný text práce | 6,97 MB | Adobe PDF | View/Open |
| Belohoubek_vedouci.pdf | Posudek vedoucího práce | 461,99 kB | Adobe PDF | View/Open |
| Belohoubek_oponent.pdf | Posudek oponenta práce | 991,53 kB | Adobe PDF | View/Open |
| Belohoubek_obhajoba.pdf | Průběh obhajoby práce | 223,49 kB | Adobe PDF | View/Open |
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/11025/32973Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.