| Title: | Vyšetřování optických a strukturních vlastností tenkých vrstev Cu\dindex{2}O dopovaných dusíkem |
| Authors: | Polák, Michal |
| Advisor: | Rezek Jiří, Ing. Ph.D. |
| Referee: | Rusňák Karel, Doc. RNDr. CSc. |
| Issue Date: | 2024 |
| Publisher: | Západočeská univerzita v Plzni |
| Document type: | bakalářská práce |
| URI: | http://hdl.handle.net/11025/57323 |
| Keywords: | tco;transparentní vodivé oxidy;cu2o;reaktivní magnetronové naprašování;elipsometrie;ramanova spektroskopie |
| Keywords in different language: | tco;transparent conductive oxides;cu2o;reactive magnetron sputtering;ellipsometry;raman spectroscopy |
| Abstract: | Tato bakalářská práce se zabývá zkoumáním optických a strukturních vlastností transparentních vodivých oxidů (TCO; transparent conductive oxides), specificky oxidů mědi dopovaných dusíkem. Jsou vysvětleny základy problematiky TCO a metody měření vlastností těchto materiálů, konkrétně elipsometrie a Ramanova spektroskopie. Tyto metody jsou použity na změření vlastností vzorků tenkých vrstev Cu\dindex{2}O dopovaných dusíkem, vyrobených reaktivním magnetronovým naprašováním při rozdílných vstupních podmínkách (teplota výroby, průtok reaktivního plynu). Pro práci jsou důležité primárně hodnoty indexu lomu vrstev, extinkčního koeficientu, šířky zakázaného pásu, a polohy píků Ramanova spektra vzorků, to vše v závislosti na energii světla interagujícího s tenkou vrstvou. Různé podmínky výroby materiálu mohou měnit vnitřní strukturu vrstvy a tím průběh výsledných závislostí zkoumaných parametrů. Jsou porovnávány zjištěné hodnoty všech veličin a změny vlastností v závislosti na výrobních podmínkách, mezi sebou i s dalšími pracemi publikovanými o podobných materiálech. |
| Abstract in different language: | This bachelor thesis examines optical and structural properties of transparent conductive oxides (TCO), particularly copper oxides enhanced with nitrogen atoms. Basics of TCO theory and techniques for measuring their parameters are explained, specifically ellipsometry and Raman spectroscopy. Those are then used to measure the properties of thin film samples of nitrogen enhanced Cu\dindex{2}O, created by reactive magnetron sputtering with several different manufacturing conditions (temperature, reactive gas flow rate). The most important parameters for this work are the refraction index, extinction coefficient, band gap energy and Raman peaks, with everything depending on the energy of the light interacting with the used thin film. Different manufacturing conditions can produce a difference in the inner structure of the film and thus change the functions of the examined parameters. The measured data and their potential differences are analyzed and compared between both the different samples and potential literature covering similar materials. |
| Rights: | Plný text práce je přístupný bez omezení |
| Appears in Collections: | Bakalářské práce / Bachelor´s works (KFY) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Bc_prace_Polak.pdf | Plný text práce | 3,31 MB | Adobe PDF | View/Open |
| BP_Polak_vedouci.pdf | Posudek vedoucího práce | 43,32 kB | Adobe PDF | View/Open |
| BP_Polak_oponent.pdf | Posudek oponenta práce | 429,47 kB | Adobe PDF | View/Open |
| ProtokolSPrubehemObhajobySTAG.pdf | Průběh obhajoby práce | 38,18 kB | Adobe PDF | View/Open |
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/11025/57323Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.